Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204533 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Deep Plasma Strip) ist ein Ätzer/Ascher, der hauptsächlich in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Es ist in der Lage, mehrere Entfernungsoperationen gleichzeitig durchzuführen, wie Ätzen, Plasmareinigung, Mikrostrippen und Waferstrippen, unter Beibehaltung einer gleichmäßigen Ätzrate über eine Vielzahl von Substraten. Die einzigartige Hardware-Architektur des Geräts umfasst Trenn- und Steuerkammern, so dass es schnell zwischen den drei Ätzstufen mit einer einstellbaren Verweilzeit radeln kann. Dadurch kann die Kammer zwischen den Ätzmodi wechseln, wobei die Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit beibehalten werden. AMAT DPS wird am häufigsten zur Entfernung von Photoresist, Polymerschichten und Metallfilmen von dünnen bis sehr dicken Schichten verwendet. Es eignet sich für viele der Prozesse, bei denen schnelles Ätzen fehlerfreier Oberflächen kritisch ist, wie die Herstellung von MEMS-Geräten, IGBTs und SOI-Wafern. Es eignet sich auch für andere Verfahren wie Kontaktlochreinigung, über Ätzrücken, Grabenisolierung und Spaltfüllung. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS verfügt über ein halbleiterartiges Vakuumsystem für Prozesskammerbacken sowie Niederdruck-Stickstoff- und Sauerstoffreinigungsfähigkeiten. Dies unterstützt eine 100% gasgestützte Umgebung bei vermindertem Druck in der Prozesskammer mit geringerem Druck, wodurch kontrollierte Mischgasreinigungszyklen mit gleichmäßigen Ätzergebnissen möglich sind. Es bietet Kontrolle über Prozesschemie, Druck und Temperatur, mit genauer Einstellung von Parametern wie HF-Leistung, Druck und Durchflussrate. Das Gerät verfügt über mehrere Funktionen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Ein solches Merkmal ist die Tatsache, dass DPS gepulste Leistung mit einer werkseitigen Impulsrate und einstellbarer Impulsbreite bereitstellt. Die Geschwindigkeit ist in Schritten von 80 bis 200 Hz einstellbar. Dies ermöglicht repetitive Prozesse mit hoher Genauigkeit, die das Risiko einer Beschädigung des Substrats verringert. Darüber hinaus verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS DPS über ein leicht zugängliches Kammerdesign, das eine schnelle Reinigung und Wartung ermöglicht. Dies reduziert Ausfallzeiten und verhindert Verschmutzungen, indem die Kammer nicht geöffnet und der Wafer gereinigt werden muss. Insgesamt ist AMAT DPS ein außergewöhnlich vielseitiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der hochkonsistente Ergebnisse für eine Reihe von Prozessen in der Halbleiterherstellung liefert. Es ist eine intuitive Maschine und bietet Anwendern vollständige Kontrolle über die Verarbeitungsparameter, so dass sie den Prozess an verschiedene Substrate und Schichten anpassen können.