Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204820 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS
ID: 9204820
Parts for chamber kits: P/N Description 0040-81156 Upper chamber liner 0040-81155 Lower chamber liner 0021-26273 Cathode liner 0200-05465 Nozzle insert Al2O3 0200-04137 Lid Al2O3 0021-26274 RF Screen 0020-63668 Slit door.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Deep Silicon Etcher/Asher) ist ein wichtiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein hoher Durchfluss, Mehrraumverarbeitungsanlage, die die notwendigen Entwicklungs- und Herstellungstechniken zuverlässig liefern kann, um genaue Muster in eine Silikonoblate zu schneiden. Das AMAT DPS-System besteht aus zwei Hauptkammern, die durch eine Wand, ein Lastschloss und eine Abgaskammer getrennt sind. Die erste Kammer beherbergt die Prozessmodule und enthält zwei Ätzplatten, wo die Wafer zur Bearbeitung aufgestellt werden. Diese Kammer ist mit einem Gas gefüllt, das typischerweise ein Gemisch aus Chlor und fluorhaltigen Verbindungen ist. Die zweite Kammer enthält einen Kolben und eine lineare Bewegungsstufe, um die notwendige Kraft zum Ätzen und Aschen bereitzustellen. Das Lastschloß wird verwendet, um die Wafer zwischen den beiden Kammern zu bewegen, ohne dass sich die Umgebung mit den Gasen in den Kammern mischen kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS-Plattform verfügt über zwei primäre Prozesse, Ätzen und Aschen. Das Ätzen wird verwendet, um flache Taschen in der Siliziumscheibe mit einem abgewinkelten Profil zu erzeugen, während das Aschen verwendet wird, um das übrig gebliebene Material aus dem Ätzprozess zu entfernen. DPS-Tool bietet hochpräzise Ätz- und Aschefunktionen mit wiederholbaren Prozessen und präziser Gleichmäßigkeit über den Wafer. Um dies zu erreichen, verwendet das Gerät hochspezialisierte Optik und eine Strahllenkung, um sicherzustellen, dass die entsprechende Menge an Zeit, Energie und Tiefe auf jedem Wafer aufgebracht werden. Die Anwendungen der AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Maschine sind vielfältig und umfassen ein breites Spektrum an Branchen. Es wird in einer Vielzahl von Technologien wie Hochgeschwindigkeits-/Hochleistungs-Halbleiterherstellung, Display-Bauelementherstellung und Dünnschichtbauelementherstellung verwendet. Das Werkzeug wird auch für die fortschrittliche Photomaskenproduktion und MEMS (Microelectromechanical Systems) -Herstellung verwendet. Darüber hinaus dient es zur Herstellung von Bauelementen für elektronische Leiterbahnen, hochdichte Speicher und IC-Pakete. Mit seinen fortschrittlichen Features, Präzision und Flexibilität ist die AMAT DPS-Plattform ein wichtiger Bestandteil der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleiterherstellung und der Geräteherstellung. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie strengen Industriestandards entspricht und einen zuverlässigen Betrieb ermöglicht, was zu erhöhten Renditen und Performance führt.
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