Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9209124 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Ätzer/Ascher ist eine Art Vakuum-Druck Ätzer/Ascher verwendet, um spezialisierte Komponenten und Halbleiterbauelemente zu erstellen. Es ist ein robuster, zuverlässiger und wiederholbarer Ätz- und Ascheprozess und erfüllt alle strengen Anforderungen der Industrie. AMAT DPS verfügt über ein einzelnes Gehäusedesign, in dem eine Plasmaquelle, Reagenzserien, Kammerkomponenten, Prozessgase und Steuerelektronik/GUI-Software untergebracht sind. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS kann qualitativ hochwertige, wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse in einer Vielzahl von industriellen Halbleitermaterialien wie Metallen, Oxid, Nitrid und dielektrischen Schichten niedriger K erzeugen. Die Maschine verfügt über eine große Kammer, die ein gleichmäßigeres Ätzen und Aschen in allen Bereichen des Wafers ohne „Kanteneffekte“ ermöglicht, was zu einem potenziellen Chipausfall oder Ertragsverlust führen könnte. Die automatisierte Zyklussteuerung mit DPS behält wesentliche Prozessparameter für konsistente Batch-to-Batch-Gleichmäßigkeit bei, während die integrierte Diagnose die Systemleistung und die Berichtsergebnisse in Echtzeit überwacht. Der DP Etcher/Asher ermöglicht es dem Benutzer, den Druck und die Temperatur der Kammer automatisch einzustellen, so dass jedes Mal eine genauere Ätzung/Asche möglich ist. Darüber hinaus eignet sich die breite Palette der verfügbaren Prozessfenster zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien und Substraten. Der Ätzer/Ascher verfügt über progressive Quellensteuerungsfunktionen. Dadurch kann der Anwender die Leistung der Plasmaquelle, der Reagenzien und der Gase auf der Basis der zu verarbeitenden Anwendung selektiv mischen. Dadurch wird ein präzises und effizientes Ätzen/Aschen gewährleistet. Das Gerät verfügt auch über ein direktes Zufuhrgasverteilungssystem, das die Prozessgase in genau der rechten Masse und Menge in die Plasmakammer liefert. Diese ist gekoppelt mit einer kaskadierten Gaszusammensetzungssteuerung zur feinjustierten Prozesssteuerung. Die Maschine ist zudem sehr benutzerfreundlich und zuverlässig, dank eines intuitiven HMI (Human-Machine Interface), das Automatisierungsfunktionen und eine grafische Benutzeroberflächendatenbank für eine einfache Prozesseinrichtung und -einstellung umfasst. Darüber hinaus beinhaltet AMAT/APPLIED MATERIALS DPS eingebaute Sicherheitsmerkmale zum Schutz von Bauteilen vor Beschädigungen und unerwarteten Ätz-/Ascheergebnissen. Dazu gehören Verriegelung, Drucksensoren, Auslassgasdetektoren und Abschaltsicherheitssensoren. Abschließend ist AMAT DPS Etcher/Asher ein effizientes, zuverlässiges und kostengünstiges Ätz-/Aschesystem, mit dem qualitativ hochwertige Präzisionskomponenten und Halbleiterbauelemente erzeugt werden. Die robusten Funktionen, die zuverlässige Steuerung und die einzigartige Benutzeroberfläche ermöglichen eine hervorragende Wiederholbarkeit und einen hohen Durchsatz. Die verschiedenen Sicherheitsmerkmale sorgen dafür, dass die Komponenten dabei nicht beschädigt werden.