Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9396746 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS ist ein automatisierter Trockenätzer/Ascher zur Herstellung von Mikroelektronik. Es ist in der Lage, kleine, komplexe Komponenten mit Plasma-basierten physikalischen Dampfabscheidungstechniken (PVD) zu reinigen, zu planarisieren und zu ätzen. AMAT DPS Ätzer basiert auf einer rotierenden Magnetronsputterquelle, die entwickelt wurde, um winzige Merkmale in ultrakurzer Zeit mit einem extrem präzisen Strahl zu ätzen. Es verwendet eine patentierte Ionenstrahl-Technologie, die einen fokussierten und kontrollierten Plasmastrom erzeugt, um die winzigen Merkmale oder andere interessante Bereiche zu erreichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS-Ätzer verwendet einen passiven Magnetkegel, der hilft, seine Position präzise zu überwachen und einen einheitlichen Ionenstrahl zum Sputtern zu liefern. Es verwendet auch ein automatisiertes Plasmadruckgerät, um die Plasmagase, den Vakuumspiegel und die Ionisation des Plasmastroms zu überwachen. Die automatisierte Steuerung ist in der Lage, die Parameter Druck, Abscheiderate und Plasmaemitter zu steuern, um bei minimalem manuellen Eingriff sehr wiederholbare, gleichmäßige Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt der Ätzer über einen hochpräzisen, segmentierten Temperatursensor, der die wiederholbare Ausrichtung von Komponenten in seiner dreidimensionalen Umgebung ermöglicht. Diese Einheit weist auch eine Mehrgasfähigkeit mit Kammern für gasförmige Vorstufe und Postplasma auf, die für die Abscheidung mehrerer Schichten wesentlich ist. Als zusätzliches Merkmal verfügt es über eine eingebaute Wärmeentlastungsmaschine, die Wärme von den Zielteilen abführt, so dass die Energie gleichmäßiger verteilt werden kann, was einen thermischen Schock verhindert, der durch schnelle thermische Veränderungen auftreten könnte. Der DPS-Ätzer ist so konzipiert, dass er mit den meisten Abscheidungsmaterialien von Graphen bis Aluminium kompatibel ist. Seine thermische Stabilität sorgt dafür, dass es extreme Temperaturen bewältigen kann, so dass es für fortgeschrittene Prozesse wie Dotieren und Metallabscheidung geeignet ist. Darüber hinaus verfügt es über einen engen Sicherheitsmechanismus, der eine automatische Abschaltung bei unsicheren Bedingungen beinhaltet. Es verfügt auch über ein automatisches Verschmutzungssteuerungswerkzeug, um Kreuzkontaminationen zwischen Substraten zu vermeiden. Abschließend bietet AMAT/APPLIED MATERIALS DPS ein leistungsstarkes und vielseitiges Trockenätz- und Aschewerkzeug für die Mikroelektronik-Produktion. Mit einer automatisierten Steuerung, die eine genaue, wiederholbare und gleichmäßige Materialabscheidung ermöglicht, ist es einer der wirtschaftlicheren automatisierten Ätzer, der eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für die Serienproduktion bietet.