Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9401495 zu verkaufen

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Dry Processing Equipment) ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschertechnologie für hochpräzises Ätzen und Aschen in der Halbleiter- und anderen Industrien. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Materialien und Prozessen zu unterstützen, wie Trockenätzung, Ascherzwischenschicht, Reinigung, Oberflächen- und Massenbehandlung und Wiederaufbereitung. Das System besteht hauptsächlich aus vier Teilen: dem Prozessmodul, dem Zusatzmodul, dem Sockel und der chemischen Verteilereinheit. Das Prozessmodul ist der Hauptverantwortliche für das Ätzen und Aschen. Sie umfasst eine horizontale Vakuumkammer, die mit einem Ionenimplantierer und einer Drosselklappe ausgestattet ist, durch die Gase der Kammer zugeführt werden. Dem Ionenimplantator wird hochfrequente HF-Leistung zugeführt, was zu einem starken elektrischen Feld innerhalb der Kammer führt. Dadurch entsteht innerhalb der Kammer ein Plasma, das eine Beschleunigung von Ionen auf ein gewünschtes Energieniveau ermöglicht, mit dem dann Materialien abgezogen werden können. Das Zusatzmodul enthält die das Magnetfeld für das Plasma bildenden elektromagnetischen Spulen sowie eine Vielzahl von Temperatur, Druck und anderen Sensoren zur Überwachung und Steuerung des Prozesses. Es dient auch als Quelle für beheizte Gase, um glattere Ätzmuster zu liefern. Ferner kann es einen Batch-Quarzkristallmonitor umfassen, der zur Überwachung des Ätz- und Aschefortschritts dient. Der Sockel ist eine Kammer, die oben auf der Vakuumkammer angebracht ist, um den Boden für die Wafer während des Prozesses bereitzustellen. Es wird auch für die Probenbesichtigung verwendet und kann mit Ladeblocktechnologie ausgestattet werden, um Wafer schnell und bequem be- und entladen zu können. Die Chemical Distribution Machine ist das letzte Element von AMAT DPS und besteht aus einer Reihe von computergesteuerten Pumpen und Ventilen, mit denen die benötigten Chemikalien während des Ätz- und Aschevorgangs der Kammer zugeführt werden. Dies gewährleistet einen stabilen und konsistenten Prozess und bietet dem Anwender die Möglichkeit, die Prozessparameter feinabzustimmen. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS ist ein leistungsstarkes, effizientes und vielseitiges Werkzeug zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Messsubstraten. Seine Komponenten sind auf Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt und bieten dem Anwender höchste Genauigkeit in seinen Prozessen. Dank seiner ausgeklügelten Steuerungssysteme und Anpassungsfähigkeit kann DPS in wenigen Minuten präzise geätzte Teile bereitstellen und ist damit ideal für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich Halbleiterherstellung, Materialforschung und Komponentenfertigung.