Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS E-max #9181384 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS E-max ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung zur Unterstützung fortschrittlicher Wafer-Musteranwendungen. AMAT E-max Ätzer/Ascher kombiniert Ätz-, Ashplasma- und RIE-Prozesse (reactive ion dry etch) in einem einzigen System. Dies bietet eine dynamische Architektur für Waferbearbeitungsvorgänge mit hoher Produktivität, überlegener Prozesswiederholbarkeit und minimaler Wartung. Die Anlagenarchitektur besteht aus zwei parallelen Teilsystemen, einem Fertigungskern und einem Testkern. Der Produktionskern sorgt für die Prozessatmosphäre, das Be-/Entladen und die Prozesssteuerung, während der Testkern für die Prozessentwicklung und die Verifizierung von Produktionschargen verwendet wird. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-max bietet eine Reihe fortschrittlicher Funktionen zur Verbesserung der Effizienz und Steigerung der Erträge. Es unterstützt hocheffiziente Ashplasma-Prozesse mit minimalen Sputterschäden und minimalen Ascheablagerungen. Die Gleichmäßigkeit der Prozesse wird durch die Verwendung einer fortschrittlichen Mehrzonenverarbeitung und einer Multi-Hochfrequenz-Stromversorgung weiter verbessert. Die Maschine ist auch mit einem Echtzeit-Diagnosetool ausgestattet, das die In-situ-Diagnosefähigkeit der Plasmaumgebung ermöglicht und Prozessoptimierung und -verbesserung ermöglicht. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Prozessfähigkeiten verfügt E-max über eine fortschrittliche In-situ-Reinigungskammertechnologie, die eine kostengünstige, hocheffiziente, partikelfreie Reinigung ermöglicht. Dies kann die Kosten für die Waferbearbeitung erheblich senken, da Verunreinigungen in situ entfernt werden können, wodurch der Bedarf an manueller Reinigung in getrennten Bearbeitungsschritten reduziert wird. Schließlich bietet AMAT/APPLIED MATERIALS E-max komplette Prozessautomatisierungs- und Integrationslösungen für die Integration mit verschiedenen MES/SAP-Systemen. Dies ermöglicht eine Echtzeit-Datenerfassung und Prozesssteuerung während Waferbearbeitungsvorgängen und ermöglicht so Genauigkeit und Prozessoptimierung. AMAT E-max bietet eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für Waferbearbeitungsvorgänge. Seine erweiterten Ätz-, Ashplasma- und RIE-Fähigkeiten ermöglichen die Wiederholbarkeit von Prozessen und die Reinigung vor Ort, um Kosten zu senken. Die Echtzeit-Diagnose- und Automatisierungslösungen des Asset ermöglichen Genauigkeit und Prozessoptimierung. Alle diese Funktionen kombinieren, um APPLIED MATERIALS E-max zu einem leistungsstarken und vielseitigen Ätzer/Ascher für jede fortschrittliche Waferbearbeitungsanwendung zu machen.
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