Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS EFEM for etcher #9376103 zu verkaufen

ID: 9376103
Wafergröße: 12"
12".
AMAT/APPLIED MATERIALS EFEM für Ätzer ist eine voll ausgestattete Ätzausrüstung, die auf die Bedürfnisse einer Vielzahl von Branchen zugeschnitten ist. Mit hohem Durchsatz, präziser Schichtdickenregelung und geringem Verbrauch an Verbrauchsmaterialien bietet das EFEM eine flexible und erschwingliche Lösung für hochpräzise Ätzanwendungen. Das EFEM-System umfasst eine Vakuumkammer, die mehrere Wafergrößen ätzen kann, mit einer zweiachsigen mechanischen Stufe, um die Platzierung von Wafern in der Kammer zu erleichtern. Ein HF-Generator versorgt die Kammer mit Strom, mit dem das Material auf der Waferoberfläche geätzt wird. Ein Gaskasten sorgt für eine kontrollierte Atmosphäre für den Ätzvorgang und ein Vakuumkrümmer regelt den Kammerdruck und die Strömung. Das EFEM verfügt außerdem über eine Lastverriegelungseinheit, mit der Wafer aus der Kammer be- und entladen werden können. Diese Maschine eliminiert den Kontakt des Menschen mit der Ätzkammer, wodurch Luftpartikel reduziert und die Ätzergebnisse verbessert werden. Darüber hinaus ermöglicht das Load-Lock-Tool dem Benutzer, mehrere Wafer in einer Reihenfolge zu bearbeiten, den Durchsatz zu verbessern und eine effiziente Verarbeitung für hochgenaues Ätzen zu ermöglichen. Die Anlage ist sehr effizient und produktiv konzipiert, mit hocheffizienten HF-Generatoren und einem verbrauchsarmen Gaskasten. Die HF-Generatoren bieten ausgezeichnete Ätzraten und Einheitlichkeit und stellen sicher, dass das Endprodukt den höchsten Qualitätsstandards entspricht. Der Gaskasten verbraucht geringe Mengen an Verbrauchsmaterialien, was die mit dem Ätzprozess verbundenen Kosten reduziert. Das EFEM ist mit einem integrierten Messtechnik-Modell ausgestattet, mit dem Benutzer verschiedene Parameter wie Ätzrate, kritische Dimension (CD) -Steuerung, Dickenkontrolle und Schichtoberflächenqualität messen können. Dieses Gerät ermöglicht es Benutzern, den Ätzprozess zu überwachen und Parameter anzupassen, um die gewünschte Ätzleistung zu erreichen. AMAT EFEM für Ätzer ist eine ausgezeichnete Wahl für die kostengünstige Herstellung von hochpräzisen Radierungen. Es ist so konzipiert, dass es zuverlässig, effizient und präzise ist und eine hervorragende Schichtsteuerung, ein gleichmäßiges Ätzen und einen schnellen Durchsatz bietet. Die fortschrittliche Technologie und Funktionen des Systems machen es zu einer idealen Wahl für Unternehmen, die nach einer wirtschaftlichen und zuverlässigen Ätzlösung suchen.
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