Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293587502 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+
ID: 293587502
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Oxide etcher, 12" 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschesystem, das hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse einfacher und effizienter macht. Die Maschine ist ein Werkzeug, das High-End-Ätz- und Aschesysteme mit fortschrittlicher Prozess- und Softwaresteuerung zu einer einzigen integrierten Plattform kombiniert. AMAT EMAX_CT+ Maschine ist eine All-in-One-Lösung für Präzisionsätzen und Aschen. Es bietet eine konsistente Ätztiefe und einheitliche Ätzmikrotopographie mit Prozesskontrolloptionen für die Abscheidung und Ätzung von Rezeptparametern zum Strippen und Ätzen von Partikeln wie Si, GaAs und CdS. Die Maschine ist mit einem integrierten Rückwärtsimpulsgenerator ausgestattet, der wiederholbare Zeiten und Dauer für Ionenstrahlätzprozesse ermöglicht. Sub-1µm Genauigkeit und 0,05 µm Präzision machen diese Lösung ideal für Anwendungen von einfachen geometrischen Ätzaufgaben bis hin zu fortschrittlichen Forschungsprojekten, die eine hohe Präzision erfordern. Die softwareautomatisierte Ausrüstung wurde entwickelt, um die Betriebskosten zu senken und die Gesamtprozessleistung zu verbessern. Verschiedene Funktionen, Software und Steuerungen wurden entwickelt, um sicherzustellen, dass die gewünschten Ätzparameter und -prozesse auch bei anspruchsvollen und empfindlichen Substraten beibehalten werden. Die benutzerfreundliche Frontplatte bietet einfachen Zugriff auf Rezepte, Parameter, Betriebsbedingungen, Alarme und Prozessstatistiken. Der Setup-Assistent und die integrierte Diagnose vereinfachen die Bedienung weiter. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-MAX CT + hat eine geschlossene Kammer mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen, die die Exposition des Personals gegenüber Partikeln und Dämpfen minimieren. Es wurde entwickelt, um strenge Sicherheits- und Betriebsanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus erfolgt die Ätzung nach Kantentrennung, Spannungsmodustechniken und softwarestabilisierten Parametern, um optimierte Prozessergebnisse zu gewährleisten. Wartungs- und Wartungsvorgänge sind schnell und einfach, da nur für den periodischen Austausch der Innenauskleidung der Ätzkammer ein Eingriff des Anwenders erforderlich ist. E-MAX CT + automatisiert die Montage und Prüfung von Prozesskammern vor jeder Ätzsitzung und reduziert die Systemeinrichtungszeit bei gleichzeitiger Gewährleistung von Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Zusammenfassend ist das AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT + Ätz- und Aschesystem eine ideale Lösung für Ätz- und Ascheprozesse, die eine unter 1 µm Genauigkeit, wiederholbare Ergebnisse und maximale Prozesskontrolle erfordern. Der integrierte Rückwärtsimpulsgenerator, Prozesssteuerungen und einfache Einrichtung und Wartung machen diese Maschine zu einem unverzichtbaren Werkzeug für den fortgeschrittenen Ätzer.
Es liegen noch keine Bewertungen vor