Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293753868 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + ist eine Ätz-/Aschereinrichtung, die für hohe Zuverlässigkeit und Prozesstemperaturen bis 512 ° C ausgelegt ist. Es hat HF-Leistung, Druck und Temperaturregelung für Ätz- und Aschemodus und hohe Gleichmäßigkeit integriert. Das System ist für hohe Ätzraten und zur Minimierung von Schäden an Substraten optimiert. Das Gerät ist mit einem hochpräzisen beweglichen Spannfutter ausgestattet, das eine präzise Positionierung und Abtastung beim Ätzen oder Aschen ermöglicht. Dies hilft, eine überlegene Prozessgleichförmigkeit zu erreichen. Es verfügt auch über einen HF-Generator, der überlegene Leistung Lieferung und Stabilität bietet. Dies hilft, eine hohe Ätzrate bei guter Selektivität für verschiedene Werkstoffätzanwendungen zu erreichen. Die Maschine wird vom SABRE Controller angetrieben. Dieser Hochleistungsregler wurde entwickelt, um eine genaue und zuverlässige Programmierung, eine genaue Druck- und Temperaturkontrolle und eine einfach zu bedienende Human Machine Interface (HMI) bereitzustellen. Es bietet auch Echtzeit-statistische Prozessüberwachung, automatische Mustererkennung und Rezeptoptimierungsfunktionen. Das Tool bietet auch eine breite Palette von Funktionen zur Optimierung des Ätz- und Ascheprozesses. Es bietet auswählbare Ätzprofile, wie z. B. Ätzwerte konstanter Rate, lineare oder programmierbare p-t-Profile und auswählbare Maskenmodi. Die Anlage unterstützt zudem die Temperaturerfassung und Ätzratenkontrolle für optimale Prozessstabilität. Das fortschrittliche Temperiermodell sorgt für eine sehr gleichmäßige Temperatur über das Substrat. Darüber hinaus bietet das Gerät anspruchsvolle diagnostische Funktionen wie Prozessüberwachung, Gasbewegungserkennung in der Kammer und fortschrittliche Substratspannungsanalyse. Es enthält auch fortschrittliche Sicherheitsverriegelungen, die auch bei unerwarteten Prozessausflügen einen sicheren Betrieb gewährleisten. Insgesamt ist AMAT EMAX_CT+ ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem, das hervorragende Prozessstabilität, Gleichmäßigkeit, Selektivität und Zuverlässigkeit bietet. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für das Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Materialien.