Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9235112 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+
ID: 9235112
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
System, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + Etcher/Asher ist eine fortschrittliche Ätz- und saubere Plattform, die für eine Vielzahl von Ätz- und Reinigungsanforderungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses Gerät ist mit der neuesten Plasmaätztechnologie ausgestattet und bietet eine effektive Lösung für Löcher mit hohem Seitenverhältnis, flache Gräben und Seitenwände. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Kammergrößen und -typen zu verarbeiten, wodurch sowohl große als auch kleine Wafer geätzt werden können. Das Gerät verwendet ein Hochfrequenznetzteil mit niedriger Beanspruchung Technologie, um qualitativ hochwertige Ätzprofile zu gewährleisten. Die voll beladene Plattform hat die Kapazität, bis zu sechs große Wafer gleichzeitig mit einer einzigen Kathodenmaschine zu verarbeiten. Es verfügt über eine Temperaturregelung über das gesamte Waferbecken, einschließlich einstellbarer Temperatur und HF-Verteilung für eine bessere Prozesssteuerung. AMAT EMAX_CT+ ist mit einem intuitiven HMI ausgestattet, mit dem der Bediener vorprogrammierte Rezepte und Einstellparameter von Prozessgasen und Zeit, Druck, Temperatur und anderen Ausgangsparametern anpassen kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN Das E-MAX CT + -Werkzeug eignet sich perfekt für Anwendungen wie SiO2-Ätzen für MEMS-Verpackungen, Scheibenwürfel und Passivierungsschichten. Es eignet sich auch für Nachätzrückstandsentfernungsverfahren, wie Nass- oder Trockenreinigung. Die Anlage ist robust und zuverlässiger als herkömmliche Systeme konzipiert, was sie zu einer idealen Plattform für produktionsfähige Radfahrzeiten macht. EMAX_CT+ Modell wird durch erweiterte Sicherheits-, Effizienz- und Steuerungsfunktionen angetrieben. Es ist mit einer automatischen Kornerkennung ausgestattet, die das Aussehen der Kornmarke reduziert. Es verfügt über eingebaute Gasalarmfunktionen, die anormale Gasnutzung und Reservoirdruck erkennen und überwachen. Eine Selbstkontrolle ermöglicht einen automatischen periodischen Selbsttest, der eine bessere Verwaltung der Ausrüstung ermöglicht. Das System ist außerdem mit einem Gasstrommonitor und einer Gasverbrauchsüberwachung ausgestattet, was den Gasverbrauch reduziert. Dies gepaart mit einfacher Wartung und austauschbaren Teilen reduziert Zeit und Kosten. E-MAX CT + ist eine ideale Lösung für Präzisionsätz- und Reinigungsanwendungen. Es bietet außergewöhnliche Ätzprofile und Prozesssteuerung für eine breite Palette von Wafern und Anwendungen. Das robuste Design, intuitive HMI, fortschrittliche Sicherheits- und Steuerungsfunktionen sowie austauschbare Teile machen APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ zu einem idealen Ätzer für die Halbleiterproduktion und -forschung.
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