Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9271007 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + Asher ist eine Single-Wafer-Bearbeitungsanlage für Ätz- und Ascheanwendungen. Dieses System ist in der Lage, den höchsten Durchsatz und die höchste Produktivität in der Branche zu liefern, so dass Kunden ständig steigende Ertragsanforderungen erfüllen und Kosten senken können. AMAT EMAX_CT+ ist ideal für die Klein- bis Mittelserienproduktion und bietet ein breites Spektrum an Produktfähigkeiten, wie hochpräzises Ätzen, Ätzen komplexer Strukturen mit hohem Seitenverhältnis und hervorragende Selektivität zwischen Aluminium und Silizium. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-MAX CT + nutzt die Advanced Chilling Technology (ACT) Architektur, eine präzise, durchflussstarke Heizkühler-Organisation, die eine schnelle Prozesssteuerung und thermische Eigenschaften ermöglicht. Diese proprietäre Architektur gewährleistet eine effiziente und gleichmäßige Wärmeverteilung über Wafer und zwischen Matrizen auf einem einzigen Wafer. Es ermöglicht eine schnelle Einrichtung und hervorragende Prozesskontrolle und Tuning-Fähigkeit. Die geschlossene Einheit und die Prozesssteuerung sind eng verbunden und ermöglichen eine Echtzeitüberwachung und Einstellung von Rezepturparametern ohne Unterbrechung der Waferverarbeitung. ANGEWANDTE MATERIALIEN eMax CT + ist in der Lage, Dielektrika mit Untermikron-Funktionsgrößen (< 0,5 μ m) hochpräzise zu ätzen. Sein anpassbares Prozessprogramm ermöglicht eine feinjustierte Optimierung des Ätzprozesses zur präzisen Schichtdickensteuerung, ein entscheidender Parameter in der Gerätesicherheit. Hohe Temperaturbereiche (bis 300 ° C) ermöglichen das Ätzen hochtemperaturbeständiger Oxide wie PECVD-Nitride und eine hohe Selektivität zwischen Metall und SiO₂. AMAT eMax CT + bietet eine Auswahl von bis zu drei Endpunktdetektionstechnologien, einschließlich UV-Reflexions-, Pyrometrie- und Fluoreszenzmessungen. Auf diese Weise können Kunden die beste Erkennungstechnik für ihre Gerätearchitektur auswählen. Beispielsweise ist die Pyrometrie-Endpunktdetektion ideal für hohe Seitenverhältnisse über Strukturen, bei denen eine hohe Auflösung am unteren Rand der Struktur erforderlich ist. Die Fluoreszenz-Endpunktdetektion eignet sich ideal zum Ganzflächenätzen großer Strukturen, während die UV-Reflexionsendpunktdetektion ideal zum Dünnschichtätzen ist. APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ ist eine ideale Plattform für Ätz- und Ascheanwendungen. Einzigartige Dual Process Chamber Technologie bietet das Beste aus beiden Welten: eine trockene Ätzkammer für präzise Merkmalsbildung und eine saubere Ätzkammer für eine schnelle Materialentfernung, die Kunden hilft, Zykluszeiten zu reduzieren und Prozesserträge zu verbessern. Darüber hinaus hilft die eingebaute Gasmischmaschine Kunden, die Betriebskosten zu senken und die Betriebszeit durch Optimierung des Gasflusses, des Druckes und der Gaszufuhr bei minimalem manuellen Eingriff zu verbessern. Zusammenfassend ist AMAT E-MAX CT + ein äußerst zuverlässiges, effizientes und präzises Einzelwaferbearbeitungswerkzeug für Ätz- und Ascheanwendungen. Die Advanced Chilling Technology (ACT) -Architektur, der Hochtemperaturätzbereich, anpassbare Prozessprogramme und optionale Endpunkterkennungstechnologien machen es zur perfekten Wahl für Kunden, die Produktivität, Präzision und Zuverlässigkeit maximieren möchten.