Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9314602 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + ist eine Ätz-/Aschermaschine, die verwendet wird, um die Topographie einer Reihe von Substraten zu modifizieren, um eine gewünschte Oberflächengüte zu schaffen. Das System eignet sich gut für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und wird häufig in der Backend-Verarbeitung integrierter Schaltungen eingesetzt. AMAT EMAX_CT+ kann zum Ätzen oder Aschen verschiedener Schichten in der Topographie eines Substrats verwendet werden, einschließlich Aluminium, Titan, Kupfer und Silizium. Es kann eine Vielzahl von Ätz-/Ascheprozessen durchführen, wie trockene oder nasse Ätzung, nasser Streifen, tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE) und elektrochemisches Ätzen (ECE). Das Gerät bietet zudem ein zusätzliches Ätz-/Aschewerkzeug, das eine präzise Steuerung von Prozessparametern wie Ätzzeit und Temperatur ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-MAX CT + ist mit einer dreistufigen Endpunktdetektionsmaschine (EPD) ausgestattet. Dieses Werkzeug überwacht den Widerstand und die Schichtdicke des Substrats beim Ätzen/Aschen. Dank der EPD-Anlage ist es möglich, den Endpunkt eines Prozesses genau vorherzusagen und so sicherzustellen, dass die gewünschte Oberflächengüte erreicht wird. Darüber hinaus ermöglicht das Modell mehrere Ätz-/Aschefahrten auf demselben Substrat, ohne dass die Parameter des EPD-Geräts neu eingestellt werden müssen. E-MAX CT + ist ein großes und zuverlässiges System, das hervorragende Leistung und genaue Ergebnisse bietet. Es verfügt über die Fähigkeit, genau Ätz-/Aschewafer in Größen bis 300mm zu ätzen und kann Ätz-/Ascheprozesse in einer kontrollierten Atmosphäre ausführen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine vollautomatische Be- und Entlademaschine sowie eine Reihe von Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen wie Datenerfassung, Prozessmapping und Rezepturverwaltung. Dank seiner fortschrittlichen Funktionen ist AMAT eMax CT + ein ideales Ätz-/Ascherwerkzeug für Branchen, die Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit bei der Bearbeitung von Substraten benötigen. Darüber hinaus ist das Tool einfach zu bedienen und zu warten und wird von AMAT umfassender technischer Unterstützung unterstützt.
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