Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9375192 zu verkaufen
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ID: 9375192
Oxide etcher
(3) Chambers
(12) Gas panels
AMAT ETCH Configurable AC Rack
RF Generator rack
FI (EFEM):
UPS
Keyboard Video Mouse (KVM)
Ethernet switch hub: CTRLINK
Fast Data Gateways (FTG)
Long flex controller Assy (Flex 4)
Light curtain
Load port
RFID
ATM Robot
Aligner
Track
Robot controller
Gas panel temperature controller
Light tower
Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
TM Robot
TM Robot controller
I-Pump
TM Baratron gauge
Load lock vacuum gauge
Load lock indexer controller
Load lock and TM Diffuser
Load lock vent valve
Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
Chamber Control Modules (CCM)
Shower head
Chamber liner
Cathode liner
Slit liner door
MAG Driver
ESC High Voltage Module (HVM)
Throttling gate valve
Embedded endpoint
Ceramic puck
HE Controller
Vacuum gauge
Vacuum switch
Pump
ISO Valve
RF Generator and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + ist eine fortschrittliche Ätz-/Asperging-Plattform, die eine hervorragende Leistung für die Herstellung integrierter Schaltungen bietet. Es ist für 3D/2D Ätzen optimiert, mit hochdichten, ultrafeinen Strukturierungsfähigkeiten durch eine Kombination aus Ionenstrahl, induktiv gekoppeltem Plasma und magnetisch angetriebenen Prozessen. AMAT EMAX_CT+ bietet branchenführende Ätzfähigkeit durch eine Kombination aus Hochdruckmagnethydrodynamik (MHDF) und Niederdruckinduktiv gekoppelten Plasma (ICP) -Technologien. Es ist in der Lage, komplexe 3D-Geometrien zu schaffen, so dass es ideal für die Mikroherstellung von fortschrittlichen Geräten, einschließlich Halbleiter-, optoelektronischen und MEMS-Komponenten. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-MAX CT + ist hochgradig anpassbar und kann mit verschiedenen Plasma- und Ionenstrahltechniken für die anspruchsvollsten Anwendungen konfiguriert werden. Es ist einfach zu bedienen und sorgt für einen schnellen und zuverlässigen Substratätzprozess und bietet gleichzeitig eine überlegene räumliche Auflösung, die für die neueste miniaturisierte Gerätetechnologie entscheidend ist. Die Prozesskammer von APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ weist mehrere Merkmale auf, die die Druck- und Temperaturgleichmäßigkeit des Substrats während des Ätzprozesses maximieren und die bestmögliche Substratgleichförmigkeit und Plasmastabilität gewährleisten. Die Kammer ist auch wartungsarm, 100% leckfrei und erfordert eine minimale Beteiligung des Bedieners. Der Ätzprozess findet in einer geschlossenen Umgebung statt und spezifische Merkmale wie Peltier-Pumpe, Dual-Density-Wafer-Handhabung und erweiterte Temperaturüberwachungswerkzeuge helfen, Partikelverunreinigungen zu reduzieren. Diese Eigenschaften machen AMAT eMax CT + zu einer ausgezeichneten Plattform für die kostengünstige Herstellung integrierter Schaltungen. E-MAX CT + nutzt erneuerbare und inerte Gase, um die Umweltbelastung zu reduzieren und gefährliche Materialhandhabung zu begrenzen. Es verfügt über Gasfördersysteme, die eine präzise und effiziente Abgabe von Prozessgasen gewährleisten und eine flexible und zuverlässige Ätzplattform für moderne Fertigungsanforderungen bieten. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Ätz-/Asperging-Plattform, die für Genauigkeit und Konsistenz bei der Herstellung von Schaltkreisen entwickelt wurde. Seine überlegene Gleichmäßigkeit und hohe Dichte Musterfähigkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für hochpräzise, 3D/2D Herstellung.
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