Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9375192 zu verkaufen

ID: 9375192
Oxide etcher (3) Chambers (12) Gas panels AMAT ETCH Configurable AC Rack RF Generator rack FI (EFEM): UPS Keyboard Video Mouse (KVM) Ethernet switch hub: CTRLINK Fast Data Gateways (FTG) Long flex controller Assy (Flex 4) Light curtain Load port RFID ATM Robot Aligner Track Robot controller Gas panel temperature controller Light tower Intake plenum enclosure MF Platform: Type: 5.3 FI TM Robot TM Robot controller I-Pump TM Baratron gauge Load lock vacuum gauge Load lock indexer controller Load lock and TM Diffuser Load lock vent valve Auto Pressure Controller (APC) Slit valve Modular DNET IO Controllers (MDI) Chamber A, B and C: Chamber Control Modules (CCM) Shower head Chamber liner Cathode liner Slit liner door MAG Driver ESC High Voltage Module (HVM) Throttling gate valve Embedded endpoint Ceramic puck HE Controller Vacuum gauge Vacuum switch Pump ISO Valve RF Generator and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + ist eine fortschrittliche Ätz-/Asperging-Plattform, die eine hervorragende Leistung für die Herstellung integrierter Schaltungen bietet. Es ist für 3D/2D Ätzen optimiert, mit hochdichten, ultrafeinen Strukturierungsfähigkeiten durch eine Kombination aus Ionenstrahl, induktiv gekoppeltem Plasma und magnetisch angetriebenen Prozessen. AMAT EMAX_CT+ bietet branchenführende Ätzfähigkeit durch eine Kombination aus Hochdruckmagnethydrodynamik (MHDF) und Niederdruckinduktiv gekoppelten Plasma (ICP) -Technologien. Es ist in der Lage, komplexe 3D-Geometrien zu schaffen, so dass es ideal für die Mikroherstellung von fortschrittlichen Geräten, einschließlich Halbleiter-, optoelektronischen und MEMS-Komponenten. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-MAX CT + ist hochgradig anpassbar und kann mit verschiedenen Plasma- und Ionenstrahltechniken für die anspruchsvollsten Anwendungen konfiguriert werden. Es ist einfach zu bedienen und sorgt für einen schnellen und zuverlässigen Substratätzprozess und bietet gleichzeitig eine überlegene räumliche Auflösung, die für die neueste miniaturisierte Gerätetechnologie entscheidend ist. Die Prozesskammer von APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ weist mehrere Merkmale auf, die die Druck- und Temperaturgleichmäßigkeit des Substrats während des Ätzprozesses maximieren und die bestmögliche Substratgleichförmigkeit und Plasmastabilität gewährleisten. Die Kammer ist auch wartungsarm, 100% leckfrei und erfordert eine minimale Beteiligung des Bedieners. Der Ätzprozess findet in einer geschlossenen Umgebung statt und spezifische Merkmale wie Peltier-Pumpe, Dual-Density-Wafer-Handhabung und erweiterte Temperaturüberwachungswerkzeuge helfen, Partikelverunreinigungen zu reduzieren. Diese Eigenschaften machen AMAT eMax CT + zu einer ausgezeichneten Plattform für die kostengünstige Herstellung integrierter Schaltungen. E-MAX CT + nutzt erneuerbare und inerte Gase, um die Umweltbelastung zu reduzieren und gefährliche Materialhandhabung zu begrenzen. Es verfügt über Gasfördersysteme, die eine präzise und effiziente Abgabe von Prozessgasen gewährleisten und eine flexible und zuverlässige Ätzplattform für moderne Fertigungsanforderungen bieten. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Ätz-/Asperging-Plattform, die für Genauigkeit und Konsistenz bei der Herstellung von Schaltkreisen entwickelt wurde. Seine überlegene Gleichmäßigkeit und hohe Dichte Musterfähigkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für hochpräzise, 3D/2D Herstellung.
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