Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9390469 zu verkaufen
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ID: 9390469
Wafergröße: 12"
Oxide etcher, 12"
(3) Chambers (A, B, C)
MF Platform type: AP
FI (EFEM):
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Servers
EATON Powerware 5115 UPS
MKS MACRONODE 0190-22543 (FI Ethernet digital I/O)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Keyboard Video Mouse (KVM)
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22545 Sealevel
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25273 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25274 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-06516 Short flex controller assy
SST DNET Scanner B/D Short flex controller assy
MEI XMP B/D
SBS Serial B/D
GE SBC B/D
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) HERMOS TLG-RS232 RFIDs
YASKAWA XU-RCM6841 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner
YASKAWA XU-ACL4230 Track
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller
WATLOW 96 Gas panel temperature controller
AMAT / APPLIED MATERIALS Light tower
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-81205 Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CFL-03 TM Robot controller
ALCATEL A100L I-Pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron TM Vacuum gauge
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron Load lock vacuum gauges
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers
(2) Load lock diffusers
TM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
(3) TENTA Water leak detector B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) AMAT Interlock B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) MKS Quad serial B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) TENTA Digital I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) MKS Analog I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SBS IP Carrier B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SST Devicenet scanner B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA SBC B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA Power supply B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) Shower heads
(3) Chamber liners
(3) Cathode liners
(3) Slit liner doors
(3) MAG Drivers
(3) ESC High Voltage Modules (HVM)
(3) Throttling gate valves
(3) Embedded endpoints
(3) Ceramic pucks
(6) HE Controllers
(3) Vacuum gauges
(3) Vacuum switches
(3) Pumps
(3) ISO Valves
(3) RF Generators and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + ist ein leistungsstarker und moderner Ätzer/Ascher für verschiedene Materialien in der Halbleiterbauelementherstellung. Es wurde entwickelt, um eine kostengünstige, vielseitige und zuverlässige Verarbeitung für Waferätz- und Waferwaschprozesse zu ermöglichen. Das Gerät besteht aus einer Steuereinheit mit allen notwendigen Komponenten zur Verwaltung von Verarbeitungsrezepten, Scannen und Wafer-Handling und einer Prozesskammer mit geschlossener Vakuumumgebung. Das System verfügt auch über einen Hochleistungs-Roboterarm, um die Wafer in und aus der hochreinen Ultra-Kryo-Umgebung zu übertragen. AMAT EMAX_CT+ wird in zahlreichen Verfahrensschritten bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt und ist in der Lage, verschiedene Kammerkonfigurationen zum Ätzen und Aschen zu handhaben. Die Einheit kann hohe Ätzraten erreichen und hat eine überlegene Gleichmäßigkeit. Zusätzlich weist die Maschine eine Prozesskammer mit einstellbarem Druck zum Ätzen und ein Quarzprozessrohr mit Spülgas zum Aschen auf. Es ist auch mit einem Temperaturregler ausgestattet, der eine präzise und gleichmäßige Temperaturregelung während der Verarbeitung ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN E-MAX CT + Werkzeug ist in der Lage, einzelne Waferätz- und Ascheprozesse zu handhaben, so dass es mehrere Wafer bei minimaler Wartung gleichzeitig ätzen und waschen kann. Darüber hinaus verwendet die Anlage einen sauerstoffdielektrischen Ätzprozess, um die Anzahl der durch den Prozess erzeugten Partikel zu reduzieren und Oberflächenschäden zu minimieren. Darüber hinaus ist es mit hochgradigen Sicherheitsmerkmalen zum Schutz der Prozessumgebung und der Bediener vor potenziell gefährlichen Chemikalien oder Partikeln ausgestattet. AMAT eMax CT + bietet zudem ein umfassendes Softwarepaket zur Steuerung, Verwaltung und Überwachung der Funktionsweise des Modells. Es verfügt über eine intuitive und einfach zu bedienende Touchscreen-Oberfläche sowie einen integrierten Rezepteditor für die schnelle Rezepterstellung. Das Softwarepaket enthält auch erweiterte Diagnosen, mit denen Benutzer Probleme schnell beheben können. Abschließend ist EMAX_CT+ eine hochzuverlässige und effiziente Ätz-/Aschermaschine für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, mehrere Ätz- und Ascheprozesse in einem einzigen Lauf mit überlegenem Durchsatz und Gleichmäßigkeit zu handhaben. Das integrierte Softwarepaket bietet eine einfache Rezeptverwaltung und eine erweiterte Diagnose, die eine schnelle Fehlerbehebung ermöglicht.
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