Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293589575 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 Plattform ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschebearbeitungsausrüstung. Es wird für anspruchsvolle Ätz- und Ascheanwendungen eingesetzt und besteht aus zwei unabhängigen Kammern für verbesserte Flexibilität. Die erste Kammer dient als Ätzer und die zweite als Asche. Die Kammern können unabhängig konfiguriert und betrieben werden, wodurch sie für den Einsatz in Tandemprozessen geeignet sind. Die Kammer hat eine Ladeschloss, die verwendet wird, um Wafer in und aus der Kammer zu übertragen, so dass sie in einer Charge verarbeitet werden. Es verfügt zudem über ein integriertes Vakuumsystem, das für konsistente, wiederholbare Verarbeitungsbedingungen sorgt. Die AMAT Enabler E2-Plattform wurde entwickelt, um eine hohe Prozesskontrolle zu gewährleisten, die zu wiederholbaren Ergebnissen beiträgt. Es verwendet mehrere Werkzeuge, um Prozessbedingungen wie Temperatur, Druck und HF-Leistung zu überwachen, sowie einen umfassenden Satz von Kammersteuerungssystemen wie Druck, Temperatur und Drehzahlregelung. Dies gewährleistet die ordnungsgemäße Materialabtragsrate und Gleichmäßigkeit. Das Gerät ist für eine Vielzahl von Anwendungen wie Kupferätzen, Siliziumätzen und Waferätzen konzipiert. Es arbeitet auch mit verschiedenen Materialien, wie Silizium, Germanium und Low-K-dielektrische Materialien. Die Plattform bietet außergewöhnliche Ätzgleichförmigkeit für anspruchsvolle Anwendungen wie High-Aspect-Ratio-Ätzen, Deep-Graben-Ätzen und selektives Ätzen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Enabler E2 Plattform ist einfach zu bedienen und zu warten, mit allen Prozessparametern leicht von der Frontplatte einstellbar, sowie Daten automatisch auf einem hochauflösenden LCD-Monitor angezeigt. Die Maschine verfügt über eine Vielzahl von eingebauten Sicherheitsmerkmalen und Schutzmaßnahmen, einschließlich Thermoelement- und Temperatursensorsteuerungen, In-Line-Partikelüberwachung und enger Schleifengasverteilung. Abschließend ist die Enabler E2-Plattform ein fortschrittliches Ätz-/Aschebearbeitungswerkzeug, das eine hohe Prozesskontrolle und Einheitlichkeit ermöglicht. Es eignet sich sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen unterschiedlichster Materialien, mit zahlreichen Merkmalen, die zuverlässige, konsistente Ergebnisse gewährleisten.