Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293819967 zu verkaufen
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ID: 293819967
Etcher
Equipment front end module (EFEM)
Vacuum Handling Platform (VHP)
(3) Load ports
(3) GHW50A
(3) B5002
ATM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der speziell auf die Mikroelektronikindustrie zugeschnitten ist. AMAT Enabler E2 bietet mit seiner inversionsausgewogenen Prozesskammer und zweisektoriger Ätzgeometrie branchenführende Präzision. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz mit einstellbarer Ätzgleichmäßigkeit über Material- und Maskensatzgröße hinweg und ermöglicht eine hochgenaue Mikroelektronik-Verarbeitung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Enabler E2 hat eine leistungsstarke vertikale Ätzgeometrie und eine Hochleistungsprozesskammer mit optionaler Temperaturregelung. Dies ermöglicht ein extrem präzises Ätzen unterschiedlichster Materialien wie SiO2 und SiNx. Die Flexibilität von Enabler E2 ermöglicht eine hochgenaue Strukturierung verarbeiteter Materialien. Es kann verwendet werden, um eine ganze Reihe von Materialien und Substratdicken von ultradünnen Wafern zu dicken Silizium-On-Isolator (SOI) Substraten zu mustern. Die automatisierten Mehrzonen-Verarbeitungsfunktionen von AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 ermöglichen präzise, wiederholbare Prozesse, um konsistente Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig mögliche Kontaminationen aus anderen Prozessströmen zu eliminieren. Es verfügt auch über eine Dual-Source-Plasmaquelle für Hochgeschwindigkeitsätzen und -abscheidung, die ein effizienteres Umschalten zwischen Ätz- und Abscheidungsschritten ermöglicht. AMAT Enabler E2 ist ein All-in-One-System zur Herstellung von Mikroelektronik mit dem Potenzial, die Komplexität mehrerer Werkzeuge für einen einzigen Prozess zu reduzieren. Darüber hinaus ist es mit seiner benutzerfreundlichen Steuerungssoftware ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das in einer Vielzahl von Prozesssituationen eingesetzt werden kann. Mit seiner präzisen Steuerung, benutzerfreundlicher Software und All-in-One-Komfort ist APPLIED MATERIALS Enabler E2 das perfekte Werkzeug für die Mikroelektronik-Industrie.
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