Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9231969 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 ist ein voll funktionsfähiger Ascher/Ätzer, der auf eine Vielzahl von verfahrenstechnischen Anforderungen ausgelegt ist. Der E2 ist eine leistungsstarke, präzise Ausrüstung, die nach präzisen Qualitätsstandards hergestellt wird, um eine robuste Prozesskontrolle und genaue Reproduzierbarkeit zu gewährleisten. Es verfügt über ein hochauflösendes Onboard-Spektrometer, das eine Echtzeit-Überwachung des Ätzprozesses ermöglicht. Der E2 liefert gleichmäßig geätzte Ergebnisse über einen extrem weiten Widerstandsbereich mit einer Kombination aus Doppelfrequenz-HF-Vorspannung und Mittelfrequenz (MF) -Strom. Das Ätzsystem verwendet eine gehackte Mikrowellenenergiequelle, um eine gleichmäßige Ätztiefe und -profil über den gesamten Graben oder durch Modulierung der Leistung für Multi-Depth oder 3D-Ätzen zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt der E2 über einen individuell steuerbaren EDGE-Ätzer mit programmierbaren programmierbaren Geometrien für mehr Rezeptflexibilität. Weitere Merkmale sind eine voll integrierte Heliumatmosphäre und Gasflusssteuerung sowie ein integriertes Plasmakonditionierungsmodul, das die Plasmabedingungen automatisch überwacht, um präzise Ätzergebnisse zu gewährleisten. Für maximale Prozesskontrolle bietet der E2 eine Einkammer-Konstruktion, die Verschmutzungen zwischen den Läufen eliminiert und Zykluszeiten verkürzt. Integrierte Sicherheitssysteme für den E2 umfassen einen integrierten digitalen HF-Generator sowie eine Sicherheitsverriegelungseinheit und eine Isolationserdungseinrichtung. Die E2 verfügt außerdem über eine integrierte Kühlmaschine für maximale Gleichmäßigkeit und umfasst unabhängige Prozessregler, Wafer-Temperaturmanagementsysteme und eine CDA-Schleife für schnellere Werkzeugverfügbarkeit. Zur besseren Prozesssteuerung bietet das E2 eine Echtzeit-Plasmaüberwachung mit dem Bordspektrometer. Durch die Kombination der neuesten Prozesssteuerungsfunktionen mit präzise bearbeiteten Teilen bietet AMAT Enabler E2 eine außergewöhnliche Plattform für Prozessingenieure, die nach einem zuverlässigen, wiederholbaren Werkzeug für eine Vielzahl von Ätzanforderungen suchen. Neben den fortschrittlichen Funktionen bietet APPLIED MATERIALS Enabler E2 mit seiner langen Lebensdauer, schnellen Grundzykluszeiten und niedrigen Betriebskosten einen außergewöhnlichen Wert.
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