Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9241234 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 ist eine leistungsfähige Plasmaätzer/Ascher-Ausrüstung, die für fortschrittliche Prozesse in der Halbleiter-, MEM- und Optoelektronik-Fertigung entwickelt wurde. Es wird in einer Vielzahl von Verfahren verwendet, einschließlich Photolackmusterung, Leuchtdiode (LED) Ätzen und Aschen, dreidimensionale (3D) Erfassung, optische Oberflächen, selektive Flächenabscheidung, Verbindungsprozesse und dielektrisches Ätzen. Das System besteht aus mehreren Kammern mit jeweils eigenen Prozessrezepten, Gasflussmanagementeinheit, HF-Stromversorgung und Vakuumpumpen. AMAT Enabler E2 ist die neueste Ätz- und Aschemaschine von AMAT. Es ist ein sehr zuverlässiges Werkzeug, das qualitativ hochwertige Ergebnisse bei minimalen Ausfallzeiten erzielen kann. Sein Hauptvorteil ist seine Fähigkeit, hohe Durchsätze und Präzisionssteuerung für komplexe Prozessgeometrien zu liefern. Das Asset bietet zudem eine hervorragende Einheitlichkeit der Ätzprofile, was zu gleichbleibend hochwertigen Produkten führt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Enabler E2 ist mit einem neu gestalteten Prozessgasliefermodell ausgestattet. Die Gasförderausrüstung ist so konzipiert, dass sie ein hohes Maß an Flexibilität und Genauigkeit bietet. Es ist in der Lage, Prozessgase mit absoluter Präzision in die Kammer zu liefern, um sicherzustellen, dass für jede Art von Arbeit das richtige Prozessrezept eingehalten wird. Das Gasfördersystem ist in der Lage, mehrere Gase gleichzeitig zu handhaben, wodurch mehrere Prozessrezepte gleichzeitig verfolgt werden können. Die HF-Stromversorgung des Geräts wurde entwickelt, um eine robuste Steuerung mit hoher Genauigkeit und ausgezeichneter Wiederholgenauigkeit zu ermöglichen. Die Stromversorgung ermöglicht es dem Benutzer, mehrere Prozessrezepte einzurichten und sicherzustellen, dass die Prozessparameter genau wie erforderlich sind. Die Stromversorgung verfügt außerdem über eine integrierte Überwachungsmaschine, mit der der Benutzer die Prozessparameter überprüfen und Anpassungen nach Bedarf vornehmen kann. Enabler E2 ist auch mit einer Vakuumpumpe ausgestattet. Die Pumpe ermöglicht ein schnelles Vakuumpegelrampen bis zum gewählten Sollwert. Das Werkzeug verfügt auch über eine Notreinigungsfunktion, die zum Schutz vor inneren Verschmutzungen durch Chemikalien, die im Ätzprozess verwendet werden, ausgelegt ist. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 ein leistungsfähiges Ätz- und Aschegut von APPLIED MATERIALS, das in der Lage ist, eine breite Palette von Prozessen mit Präzision und Wiederholbarkeit zu bewältigen. Das Modell kann auf effiziente Weise hervorragende Ergebnisse liefern.
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