Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM #9311364 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschetechnologie, die zur Herstellung integrierter Schaltungskomponenten verwendet wird. Es ist mit der neuesten Werkzeug- und Automatisierungstechnik der Firma AMAT ausgestattet, die ein hochpräzises Ätzen und Aschen ermöglicht. AMAT G5 MESA EFEM-Ausrüstung ist für die Bearbeitung von Wafern mit bis zu 200mm Durchmesser und 300mm Länge ausgelegt. Es verfügt über einen ultrahohen Durchsatz mit Durchsatzraten von bis zu 1000pcs/hour. Es bietet auch mehr Kontrolle und Präzision beim Ätzen und Aschen mit seiner einzigartigen Dualkammer-Technologie ermöglicht Sub-um Prozessgenauigkeit. Die intelligenten Steuerungssysteme, die konfigurierbare Rezepte für verschiedene Wafergrößen liefern, optimieren den Ertrag und minimieren Fehler. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM-System überlegene Prozessgleichmäßigkeit und Produktivität mit einer breiten Palette von naßchemischen Ätzlösungen, einschließlich Salzsäuren, Schwefel, Phosphor und anderen Säuren. Seine Nasspassivierungsfunktion steuert die Oxidation und ermöglicht eine verbesserte Struktur/Oberflächenqualität von winzigen geätzten Strukturen oder Mikromerkmalen. Seine Niederdruck chemische Dampfabscheidung (LPCVD) und Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Fähigkeit hilft auch bei der Verbesserung der Oberflächengüte des Wafers und macht es haltbarer. Die EFEM-Einheit G5 MESA verfügt über ausgeklügelte Automatisierungslösungen, die eine präzise Prozesssteuerung während der Fertigung ermöglichen. Es umfasst automatisierte Wafer-Zentrierung und -Beladung, Prozessüberwachung und Rezepturmanagement, um komplexe Ätz- und Aschevorgänge effizient zu gestalten. Seine Sicherheitsmerkmale garantieren Sicherheit für Personal und Ausrüstung, mit automatisierten Gaserfassungssystemen, die zum Nachweis gefährlicher Gehalte bestimmter giftiger Gase wie Ammoniak und Chlorwasserstoff ausgelegt sind. Um zuverlässige Prozessqualität zu gewährleisten, verwendet AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM industrielle Sensoren und Optik für präzises Wafer-Scanning sowie Echtzeit-Oberflächenüberwachung und Reporting, die eine dynamische Prozesssteuerung ermöglichen. Es enthält auch einen sechsachsigen Roboter für automatisierte Handhabungsoperationen, der mit Sicherheitsfunktionen zum Schutz des Personals vor Schäden ausgelegt ist. Darüber hinaus integriert AMAT G5 MESA EFEM mit anderen Verarbeitungsgeräten in eine fortschrittliche Prozessüberwachungsmaschine für mehr Kontrolle und Qualität. Die flexible Integration ermöglicht eine optimierte Produktion und steigert die Gesamtwerkzeugeffizienz. Dieses fortschrittliche Ätz- und Aschegut ist eine ideale Wahl für die führenden Produktionslinien von heute.