Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK #293616964 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Es ist in der Lage, ein- oder mehrschichtige Folien in einer Vielzahl von Materialien wie Polysilizium, SiO2, SiN und Polyimid zu trocknen und zu aschen. Die Maschine verfügt über einen fortschrittlichen modularen Aufbau, der die Kompatibilität mit verschiedenen Prozesschemien und Ätzrezepten ermöglicht. Die Kammergröße der Maschine beträgt 205 mm x 215 mm x 305 mm und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm handhaben. AMAT G5 MESA HPK ist mit einem Festfrequenz-HF-Generator und einer Verteilergasanlage für optimale Ätzleistung ausgestattet. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Gasstrommanagementsystem, das es dem Bediener ermöglicht, den Gasdruck und den Gasstrom genau zu steuern. Dadurch entfällt die Notwendigkeit manueller Anpassungen, wodurch Bedienungsfehler reduziert werden. Darüber hinaus ist die Maschine mit vielen verschiedenen Chemikalien kompatibel, was sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 MESA HPK hat eine Hochdruck-Molybdän-Ätzkammer, die eine schnelle Ätzrate und ein gleichmäßiges Ätzen im gesamten Wafer ermöglicht. Es ist auch mit Hochleistungspumpen und Steuerungen ausgestattet, die eine bessere Steuerung der Prozessparameter und ein gleichmäßiges Ätzen innerhalb der Maschine ermöglichen. Dadurch wird die hohe Qualität der Ätz- und Ascheprozesse gewährleistet. G5 MESA HPK ist auch mit fortschrittlichen Diagnose- und Wartungswerkzeugen ausgestattet. Dies hilft den Betreibern, die Ätzleistung der Maschine zu verstehen, indem Daten gesammelt werden, die analysiert und zur Prozessverbesserung angewendet werden können. Es verfügt auch über ein automatisiertes Diagnosetool, das Hardware- oder Softwareprobleme erkennen kann, die bei einem Ätz- oder Ascheprozess auftreten können. Dies hilft, Ausfallzeiten und unnötige Abschaltungen zu vermeiden. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK ist ein hochmodularer, konfigurierbarer und erweiterbarer Ätzer/Ascher, der präzise, leistungsstarke, zuverlässige Ätz- und Ascheprozesse bietet. Die erweiterten Diagnose- und Wartungsfunktionen stellen sicher, dass die Ätzleistung maximiert und die Ausfallzeiten minimiert werden. Seine Verträglichkeit mit verschiedenen Chemikalien macht es schließlich auch für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet.
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