Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9270848 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
AMAT/APPLIED MATERIALS G5 ist eine Asche-/Ätzausrüstung, die für das präzise Ätzen oder die Aschebearbeitung von Wafern entwickelt wurde. Dieses System nutzt einen Hochleistungs-, Hochfrequenz-Plasmaätz- und Ascheprozess, um große oder kleine Chargen von Wafern schnell und präzise zu ätzen. Dieser Prozess arbeitet bis zu einer Tiefengenauigkeit von +/- 1um und kann eine Oberflächenplanarität von +/- 2um erreichen. AMAT G5 ist speziell für Anwendungen wie integrierte Schaltkreisverpackungen, Waferdünnung, dielektrisches Ätzen, Polyimidätzen und Display-Produktion konzipiert. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 Einheit verfügt über eine computergesteuerte, einzelne Kammer Design mit einem geschlossenen Gasschrank. Durch diese Ausgestaltung wird sichergestellt, dass das Plasma genau enthalten ist und die resultierende Asche erfüllt ist. Die Maschine ist auch mit intelligenten Betriebsparametern ausgelegt, die genauere, wiederholbare Ergebnisse ermöglichen. Darüber hinaus wurde G5 mit einer beweglichen Kammerwand ausgelegt und kann Substrate bis 300mm Größe aufnehmen. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 bietet sowohl Nass- als auch Trockenasche-Verarbeitungsmöglichkeiten, die das Risiko von Partikelverunreinigungen weiter reduzieren. Das Werkzeug ist mit einem Flugzeit-Massenspektrometer zur kontinuierlichen Überwachung von Partikeln in Prozessen ausgestattet und wird von der fortschrittlichen Ätzsteuerungssoftware AMAT angetrieben. Diese Software beinhaltet einen automatisierten Tuning-Zyklus, der Prozessparameter automatisch anpasst, um die höchstmögliche Leistung zu erhalten. Die Software ist auch mit der Software APPLIED MATERIALS Production Viewer kompatibel, mit der Anwender Prozesse von entfernten Standorten aus überwachen können. AMAT G5 ist ein fortschrittliches Ascher/Ätzer-Asset für hochpräzises Ätzen und Aschebearbeitung von Wafern. Sein Design gewährleistet die Eindämmung der Plasmaätz- und Ascheprozesse und ermöglicht wiederholbare Ergebnisse. Das Modell verfügt auch über bewegliche Kammerwände und ist mit Nass- und Trockenaschebearbeitungsfähigkeiten ausgestattet. Schließlich wird es durch ein Flugzeit-Massenspektrometer und eine fortschrittliche Ätzsteuerungssoftware angetrieben, mit der Benutzer Prozesse von entfernten Standorten aus überwachen können.
Es liegen noch keine Bewertungen vor