Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9298595 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS G5 ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschwerkzeug, das für Hochgeschwindigkeits-, Ultrafeinfunktionsätzen und -veraschen entwickelt wurde und verbesserte Wafererträge und Kosteneinsparungen bei der Verarbeitung von Halbleiterscheiben ermöglicht. Es verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-magnetisch gekoppelte Sputterausrüstung, die ein schnelles Ätzen/Aschen von Schaltungen sowie hochpräzise Musterverfahren mit engen kritischen Abmessungen ermöglicht. AMAT G5 kann sowohl im Nass- als auch im Trockenmodus arbeiten und verwendet ein Niederdrucksystem für eine hervorragende Prozesssteuerung. Es ist mit erweiterter Integrität aufgebaut, um eine zuverlässige wiederholbare Vorrichtung bereitzustellen. Die Ätz- und Ascheprozesse können durch eine integrierte Softwareeinheit genau überwacht und gesteuert werden und ermöglichen eine präzise Kontrolle des Ätzrezeptur- und Ascheprozesses. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 wendet Gülle auf den Wafer an und verwendet ein hochentwickeltes Steuerprogramm, um eine einheitliche und präzise Anwendung zu gewährleisten. Eine einstellbare Ätzrate ermöglicht ein maximales Ätzen ohne Wulstbildung oder Kontaktierung des Wafers. Dies ermöglicht eine deutlich verbesserte Nassätzgleichmäßigkeit und höhere Etdoorwände und verringert die Partikelbildung. G5 bietet auch ein programmierbares P-CVD-Verfahren, das Materialien wie Nitrid, Poly-Si, Oxid usw. auf den Wafer aufbringen kann. Das P-CVD-Feature von AMAT/APPLIED MATERIALS G5 ermöglicht eine schnelle, genaue Abscheidung und doppelseitige Abscheidung auf dem Wafer. Mit seiner integrierten Druckregelmaschine kann das Verfahren Material präzise auf kleine und komplexe Merkmale abscheiden, ohne sie zu verschmieren oder zu schmelzen. AMAT G5 ist vollautomatisiert mit einer erweiterten HMI-Schnittstelle für einfaches und intuitives Ein- und Auschecken von Wafern bei der Überwachung von Werkzeugparametern in Echtzeit sowie bei der Speicherung der Rezepte. Es bietet auch anpassbare Parameter für stressfreie Prozeßrezept-Setups. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 ist eine robuste und zuverlässige Ätz- und Aschelösung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit einer ausgeklügelten, aber benutzerfreundlichen HMI-Schnittstelle bietet G5 eine genaue Prozesskontrolle und verbesserte Erträge für verbesserte Leistung, Kosteneinsparungen und Zuverlässigkeit.
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