Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9314557 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 ist ein Ätzer/Ascher, der für den Betrieb im Ultrahochvakuumbereich für Plasmaätzverfahren ausgelegt ist. Dieses Tool verwendet ionisiertes Gas für Ätz- und Ascheanwendungen und kann sowohl für Trocken- als auch für Nassätzprozesse konfiguriert werden. Die in AMAT G5 verwendete kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz (RF) -Technologie ermöglicht es, eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Germanium, Quarz und Diamant zu ätzen. Dieser Ätzer/Ascher besteht aus einer Prozesskammer, einer Vakuumeinrichtung, einem HF-Generator, einer Stromversorgung, Gaseinlässen, Abgasanlagen und einem Regler. Die Prozesskammer ist leckdicht ausgelegt und verwendet ein Vakuumsystem, um während des Betriebs ultrahohe Vakuumwerte aufrechtzuerhalten. Der in das Werkzeug eingebaute HF-Generator erzeugt eine HF-Leistung, die durch Ionisierung der Gasmoleküle als Energiequelle für den Ätzprozess wirkt. Darüber hinaus verwendet das Gerät eine Stromversorgung, um die HF-Leistung zu erhalten und zu steuern. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, einschließlich Materialabtragung, Oberflächenreinigung und plasmaunterstützte Abscheidung. Es ist in der Lage, eine Reihe von Materialien zu ätzen, einschließlich Halbleiter, Quarz und Diamant. Dieses Tool unterstützt das Ätzen mit Chemikalien wie Fluor-basierten CF4, Ar/CF4, CHF3 und Ar/Cl2 mit höheren Ätzraten. Die tiefe Ätzfähigkeit dieses Werkzeugs ermöglicht Funktionen weniger als 10nm Genauigkeit. Um die höchste Qualität der Ätzung zu gewährleisten, umfasst G5 Wärmedämmung und Kühlsysteme. Das Werkzeug ist auch für eine einfache Wartung ausgelegt und kann manuell bedient oder für den automatischen Betrieb programmiert werden. Weiterhin dient diese Einheit zur Überwachung von Druck und Temperatur während des Ätzvorgangs mit einer Regelmaschine. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 ist ein zuverlässiges und vielseitiges Ätz- und Aschewerkzeug, das sich für eine Vielzahl von Prozessen eignet, darunter die Herstellung von MEMS-Bauelementen, die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die Mikrofluidik und die Prozessforschung. Es ist in mehreren Größen erhältlich, um unterschiedliche Anwendungsanforderungen zu erfüllen und ist als Tischmodell oder als komplettes Werkzeug erhältlich. Dieses Tool bietet hohe Prozesswiederholbarkeit und Genauigkeit und ist somit eine ideale Wahl für viele fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse.