Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9400025 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS G5 ist eine produktionsorientierte Einkammer-Ätz-/Ascher-Plattform zum Ätzen und Verarbeiten einer Vielzahl von Substraten. AMAT G5 wurde entworfen und gebaut, um präzise, zuverlässige und wiederholbare Leistungen zu liefern, was es zu einem wertvollen Werkzeug für Produktionsprozesse mit hohem Volumen macht. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 bietet eine vollständige Palette von Ätzfunktionen, von der niedrigen Temperatur bis zum Hochleistungsätzen. Es kann zum Ätzen von Siliziummaterialien wie SiO2, Si3N4 und SiC, Aluminiumnitrid (AlN) und Tiefbrunnenätzen verwendet werden. Der Ätzprozess kann für verschiedene Anwendungsbedürfnisse mit einer Reihe von Optionen wie Kammertemperatur- und Druckregelsystem, Prozessgasen, HF-Leistung und verschiedenen anderen Hardwarekonfigurationen optimiert werden. G5 hat eine einzigartige Fähigkeit, die Substrattemperatur der Ätzkammer zu steuern und zu profilieren. Darüber hinaus ermöglicht der programmierbare Regler die Einstellung optimaler Temperatur-, Druck- und Gasströmungsprofile durch seine benutzerfreundliche grafische Oberfläche. Der Ätzer/Ascher ist außerdem mit einem Sicherheitsverriegelungssystem zur Vermeidung von Bedienerverletzungen und Betriebsgefahren ausgestattet, das im Gefahrenfall Pumpe und Stromquellen abschalten kann. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche, die prozessspezifische Überwachung, automatisierte Datenerfassung und statistische Prozesssteuerungsfunktionen bietet. Diese intuitive Bedienoberfläche ermöglicht die effiziente Bedienung des Ätzers/Aschers mit minimalem Bedieneingriff. Seine Steuerung ist sehr zuverlässig und anspruchsvoll, ermöglicht eine einfache und effektive Prozesssteuerung und immer einfache Prozessoptimierung. AMAT G5 hat ein Kammervolumen von drei Litern und kann in der Chipherstellung mit einer Vielzahl von Substratgrößen und Ätzverfahren eingesetzt werden. Sie ist effizient, zuverlässig und robust und eignet sich daher gut für industrielle Produktionsprozesse. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 ist die Wahl für die Serienfertigung von Hochleistungs-Ätz- und Ascheanwendungen.
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