Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407675 zu verkaufen
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ID: 9407675
AMAT/APPLIED MATERIALS Gasbox für Centura DPS II ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für den Einsatz mit Centura DPS II-Systemen. Es wurde entwickelt, um eine zuverlässige, gleichbleibende Leistung mit einer prozessgefilterten, beheizten und befeuchteten Gasförderausrüstung zu gewährleisten. Dies gewährleistet ein genaues, homogenes Ätzen und Aschen von Dünnschichtmaterialien auf Substraten mit einer Breite von bis zu 5 Zoll. Der Gaskasten verfügt über ein erweitertes Bedienfeld, das eine präzise Steuerung aller Parameter und Bedingungen für einen idealen Abscheideprozess bietet. Der Gaskasten ist für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen ausgelegt, wie Oxidätzen, Polyimidätzen und Aschen, massenselektives Ätzen und 2D-Musteraschen. Es hat eine Vakuumplatte mit automatischer Zentrierung, verstellbarer Höhe und Auslegerpositionierung, um eine überlegene Ätz- und Aschegleichmäßigkeit zu gewährleisten. Der Gaskasten enthält ein beheiztes und befeuchtetes Bühnensystem, das Kondensation auf dem Substrat oder der Schrittausrichtungsoptik verhindert. Es umfasst auch eine prozessgefilterte Gassteuereinheit, die unabhängig gesteuerte Gasbonnets und einen Gasmischer umfasst, der bis zu sechs verschiedene Gase unterstützen kann. Die Maschine umfasst auch fünf Wärmedämmventilbaugruppen, die dazu beitragen, die Auswirkungen von Kreuzkontamination zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt es über einen taperlosen Becher zur Aufnahme flüssiger Ätzmittel und einen Gasablauf zur sicheren Entfernung von Ätzmittel. AMAT Gas Box für Centura DPS II ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das qualitativ hochwertige und präzise Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen liefert. Es ist auf Benutzerfreundlichkeit, Sicherheit und Genauigkeit ausgelegt, mit Merkmalen wie prozessgefilterter Gasförderung, beheiztem und befeuchtetem Bühnenwerkzeug, thermischen Isolationsventilbaugruppen und einem taperlosen Becher zum Flüssigkeitsätzen. Dies gewährleistet eine zuverlässige und gleichbleibende Leistung beim Ätzen und Aschen von Dünnschichtmaterial.
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