Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407679 zu verkaufen
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ID: 9407679
AMAT/APPLIED MATERIALS Gasbox für Centura DPS II ist eine zuverlässige, präzise Ätz- und Aschermaschine. Dieses System wird in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um mikroskopische elektronische Bauelemente und Komponenten zu schaffen. Das Ätz- und Ascher-Verfahren wird verwendet, um Muster auf die Oberfläche eines Substrats zu übertragen, indem Material aus dem Substrat durch den Einsatz von reaktiven Gasen entfernt wird. Das Gerät verfügt über eine Edelstahlkammer, die für eine zuverlässige Verarbeitung von bis zu 150 mm Wafern ausgelegt ist. Die Kammer ist abgedichtet und verfügt über eine fortschrittliche Gasströmungssteuerung sowie integrierte Sicherheitssysteme zur Gesamtprozesssteuerung. Dieses Gerät ist mit einer Centura DPSII Prozesssteuerung ausgestattet, die ein integriertes Gaspanel für präzise Gasverteilungs- und Frontplatten-Bedientasten bietet, die einfachen Zugriff auf Maschinenmenüs und Einstellungen bieten. Dieses Tool bietet auch Funktionen zur Ereignisprotokollierung, Diagnose und Fehleranzeige. AMAT Gas Box für Centura DPS II ist vollständig in eine erweiterte SPS-Steuerung integriert, die die direkte Kontrolle der Prozesse und Abläufe des Modells ermöglicht. Die SPS-Steuerung bietet darüber hinaus eine fortschrittliche Fehlererkennung sowie Sicherheits- und Umweltfunktionen. Das System ist mit einem Druckregler zur Überwachung und Steuerung des Kammerdrucks sowie einem Gaskrümmer ausgestattet, mit dem Prozessgase nach einer programmierten Rezeptur präzise gemischt und durchströmt werden. Das Gerät verfügt auch über eine integrierte Rezeptverwaltungseinheit, mit der der Bediener bei Bedarf schnell neue Rezepte abrufen, ändern oder erstellen kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Gasbox für Centura DPS II ist für den Umgang mit bis zu drei Prozessgasen konzipiert und bietet eine äußerst zuverlässige und effiziente Ätz- und Reinigungslösung. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie anpassbar und benutzerfreundlich ist. Es lässt sich einfach in eine Vielzahl von Systemen und Automatisierungsprozessen integrieren. Seine hochentwickelten Funktionen gewährleisten einen zuverlässigen Betrieb während des gesamten Waferbearbeitungsprozesses.
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