Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Hart #9225943 zu verkaufen

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Hart ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die eine präzise und wiederholbare Ätzung von Halbleiterscheiben ermöglicht. Das System ist in der Lage, bis zu vier 300mm Wafer gleichzeitig mit Ätz- und Aschefunktionen zu verarbeiten. Das Gerät ist mit einem maßgeschneiderten beheizten Spannfutter ausgestattet, das eine vorbestimmte und gleichmäßige Dicke der auf dem Substrat abgeschiedenen Ätzasche gewährleistet. AMAT Hart nutzt das magnetisch unterstützte chemische Ätzverfahren (MAC-Etch), das ein genaues und gleichmäßiges Ätzen der Wafer gewährleistet. Dieses Verfahren nutzt die Anwendung intensiver elektromagnetischer Felder, um ein kontrolliertes und kontrollierbares Ätzen des Substrats zu erzeugen. Mit diesem Verfahren kann APPLIED MATERIALS Hart Ätzanwendungen mit einer Auflösung von weniger als 1 nm erreichen. Darüber hinaus entstehen im MAC-Etch-Verfahren im Vergleich zu herkömmlichen Ätzverfahren sehr niedrige Poly-Korn-Reste. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, eine Spin-on-Glass (SOG) -Abscheidung durchzuführen, ein zeitsparender Prozess zur Abscheidung einer sauerstoff- oder siliziumhaltigen Schicht auf dem Substrat. Dies ist ein vorteilhaftes Verfahren, da es zu einer verbesserten Haftung auf dem Substrat und einer verbesserten Ätzgleichmäßigkeit führt. Hart asset ist zudem mit einem Laser-Thermobearbeitungsmodell ausgestattet, mit dem der Ätz-/Ascheprozess schneller und mit weniger Prozessschritten abgeschlossen wird. Die Laser-Thermobearbeitungsanlage erhöht die Genauigkeit von Ätzen und Aschen, erzeugt eine bessere Substratveredelung und verbessert die allgemeine Gleichmäßigkeit des Prozesses. Das System ist auch in eine Datenüberwachungseinheit integriert, die die Speicherung und Überwachung der gesammelten Prozess- und Produktdaten ermöglicht. Auf diese Weise können Prozessparameter und -parameter angepasst werden, um die Prozessgleichmäßigkeit und -genauigkeit zu verbessern. Schließlich ist die Maschine für eine einfache Bedienung mit einer intuitiven Benutzeroberfläche konzipiert. So können Anwender Prozessrezepte schnell programmieren und ihre Ätz- und Ascheprozesse steuern. Insgesamt ist das Werkzeug AMAT/APPLIED MATERIALS Hart ein leistungsfähiges und zuverlässiges Gut zum genauen und schnellen Ätzen von Halbleiterscheiben.