Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mark II chambers for P5000 #293590702 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Mark II Kammern für P5000 Ätz- und Aschesysteme bieten Herstellern eine hochdichte, unter Druck stehende Prozessumgebung. Die für die Produktion in der Halbleiterherstellung konzipierten Mark II-Kammern bieten hervorragende Designeigenschaften und Komfort für effizienten Betrieb, Wartung und Sauberkeit. Mit einer Vielzahl von prozessbezogenen Merkmalen sorgen die Mark II Kammern für eine effiziente, wiederholbare und genaue Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen. Die Mark II ist mit mehreren Schichtkammern ausgestattet, die die Prozessumgebung definieren. Die ersten beiden Schichten enthalten eine HF-Abschirmung, die die HF-Wellenformen und Plasmakonzentrationen bei Ätz- und Ascheprozessen isoliert. Die dritte Schicht ist eine Edelstahlbox, die zwei wärmeisolierte Stationen beherbergt. Die erste Station beherbergt die Gasverteiler, Gasverteiler und Gasleitungen; die zweite Station beherbergt Flüssigkeitsdosierpumpen und den HF-Generator. Innerhalb der vierten Schicht befindet sich der Prozeßsockel, der Wafer und Suszeptor bei der Verarbeitung unterstützt. Die fünfte Schicht ist eine elektromagnetische Störscheibe (EMI), die die äußere Umgebung vor Verschmutzung und das System vor anderen Gerätestörungen schützt. Die Ätz- und Aschesysteme Mark II verfügen zudem über eine Reihe programmierbarer Funktionen, die durch die Software Process Flow Manager (PFM) ermöglicht werden. Das PFM ist eine umfassende Programmiersprache, die eine einfache Integration in andere Systeme sowie individuelle Looping-Szenarien und Batch-Rezepte ermöglicht. Darüber hinaus umfasst die Mark II-Kammer eine Reihe von Werkzeugdiagnosen, die eine detaillierte Prozessbehebung ermöglichen. Auch die Mark II etc und Aschesysteme bieten hervorragende Sicherheitsmerkmale. Das Gerät ist mit einer schnell wirkenden Verriegelungsmaschine ausgestattet, die auf plötzliche oder unerwartete Druckänderungen oder Plasmabogen reagieren soll. Im Falle eines Lichtbogenzustandes schalten die Verriegelungen das Werkzeug automatisch ab, um weitere Schäden zu vermeiden. Insgesamt sind AMAT Mark II Kammern für P5000 Ätz- und Aschesysteme eine ausgezeichnete Option für Hersteller, die eine schnelle, effiziente und zuverlässige Prozessumgebung benötigen. Mit seinen fortschrittlichen Designeigenschaften und der umfassenden Programmiersprache ermöglicht das Asset eine ausgezeichnete Ätz- und Ascheprozesssteuerung, verbesserte Produktivität und verbesserte Modellsicherheit. Letztlich ist die Mark II Kammer ein wesentlicher Bestandteil jeder modernen Fertigungsausrüstung.