Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PE-8330 #9148218 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330 ist ein Ätzer/Ascher zur Abscheidung von Dünnschichtdielektrika auf integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Komponenten. Die Ausrüstung ist in der Lage, eine Vielzahl von Folien und Materialien mit Präzision und Genauigkeit in minimaler Zeit zu ätzen. Mit einer Standfläche von 200 mm x 490 mm bietet das Werkzeug eine kompakte Lösung für die Integration von Produktionslinien. AMAT PE-8330 nutzt sowohl reaktives Ionenätzen (RIE) als auch induktiv gekoppeltes plasmareaktives Ionenätzen (ICP), um eine breite Palette von Ergebnissen zu erzielen. Der RIE-Modus dient zum präzisen Ätzen von Dielektrika mit einer Ätzselektivität bis zu 2:1 für optimale Schichtdickengleichmäßigkeit. Der ICP-Prozess erhöht die Ätzgeschwindigkeit bei hoher Kontrolle. Die Kammer von APPLIED MATERIALS PE-8330 verfügt über eine einzigartige fahrerlose automatische Nivellierplattform mit weniger als 0,15 MM mechanischer Ungleichförmigkeit. Die antriebsfreie Konstruktion ermöglicht eine kontinuierliche Prozesswiederholbarkeit ohne Fehlbelastung von Teilen. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine belastungsarme Prozessumgebung mit einem Torerkammerdruck und bis zu 45 kW HF-Leistung. Der Controller von PE-8330 ist ein einzigartiger Prozessmonitor mit mehreren Datenanzeigemodi, der es dem Bediener ermöglicht, den Ätzprozess in Echtzeit zu beobachten. Der Controller ist in der Lage, bis zu 700 Rezepte für Prozesssteuerung, Tracking und automatische Optimierung zu speichern. Das System bietet schnelles und zuverlässiges Ätzen und sorgt gleichzeitig für eine sichere Prozessumgebung. AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330 ist eine sehr zuverlässige Einheit mit einer branchenführenden Betriebszeit von > 90%. Das Werkzeug ist für den Dauereinsatz auch unter verschiedenen Bedingungen ausgelegt, einschließlich hoher Temperaturen und niedriger Belastungsprozesse. Die robuste Konstruktion sorgt zudem für minimale Wartungsanforderungen und geringe Betriebskosten. Insgesamt ist AMAT PE-8330 Ätzer/Ascher eine einfach zu bedienende Maschine, die schnelle und genaue Ätzergebnisse bietet. Das Werkzeug ist für die automatisierte Produktion konzipiert und kann eine Vielzahl von Materialien mit Präzision und hohem Durchsatz ätzen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen bietet APPLIED MATERIALS PE-8330 eine zuverlässige Ätzlösung, die Prozesswiederholbarkeit und minimale Wartungsanforderungen gewährleistet.
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