Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Tetra #293633171 zu verkaufen

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ID: 293633171
System Part number: 0010-45807.
AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der hervorragende Ergebnisse liefert. Diese Ausrüstung integriert vier verschiedene Prozesse, die ein Hochgeschwindigkeitsätzen und -veraschen verschiedener Materialien ermöglichen. AMAT Tetra kombiniert Plasmaätzen, RIE (reaktives Ionenätzen) und Aschen, O2 Ätzen und Aschen sowie Nassätzen und Aschen. Dieses fortschrittliche System ist sowohl zur Oberflächen- als auch zur Tiefenätzung in der Lage und bietet flexible und effiziente Verarbeitungsfunktionen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Tetra verwendet ein fortschrittliches PECVD-Verfahren (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) zum Ätzen und Aschen von Oberflächenmaterialien. Diese Einheit ermöglicht das Ätzen und Aschen bei niedrigen Temperaturen und Drücken und liefert überlegene Prozessergebnisse. Tetra wurde entwickelt, um extrem schnelle Verarbeitungszeiten zu ermöglichen und Benutzern unübertroffene Durchsatz- und Datenerfassungsraten zu bieten. Diese Maschine ist hocheffizient, mit einer hohen Materialauslastung und extrem niedrigen Betriebskosten. AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra bietet auch einen fortgeschrittenen reaktiven Ionenätzer/Ascher, basierend auf einem geätzten/ashed-Verfahren, das verschiedene Gase wie Sauerstoff, NF3, CHF3 und Ar verwendet. Dieses Werkzeug wurde entwickelt, um ein extrem gleichmäßiges Ätzen über mehrere Oberflächen sowie eine extrem genaue Kontrolle über Ätztiefe und Selektivität zu ermöglichen. Das Nassätzen und Aschen wird auch von AMAT Tetra unterstützt, was eine verbesserte Produktivität in Großanwendungen ermöglicht. Dieses Asset ermöglicht es Benutzern, Ätzraten schneller als bei konventioneller Nassverarbeitung zu erzielen, die Zykluszeiten zu reduzieren und Anwendern überlegene Ergebnisse zu liefern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Tetra bietet eine Reihe von Automatisierungs- und Prozesssteuerungsoptionen, um maximale Flexibilität und Effizienz zu gewährleisten. Dieses Modell wurde entwickelt, um überlegene Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit zu bieten und ist kompatibel mit bestehenden physikalischen und chemischen Prozesskammern. Tetra bietet auch eine integrierte Kammer Verschluss Ausrüstung, die erhöhte Sicherheit und Betrieb ohne die Notwendigkeit einer zusätzlichen Eindämmung. AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra ist ein fortschrittliches System, das eine überlegene Ätz-/Ascheleistung bietet. Diese Einheit bietet Anwendern hervorragende Prozessergebnisse, indem sie die vier unterschiedlichen Prozesse Plasmaätzen, RIE, O2 Ätzen und Nassätzen und Aschen kombiniert. Diese Maschine ist sowohl zur Oberflächen- als auch zur Tiefenätzung bei niedrigen Temperaturen und Drücken mit ausgezeichneter Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit in der Lage. Darüber hinaus bietet AMAT Tetra flexible Automatisierungs- und Prozesssteuerungsmöglichkeiten sowie ein integriertes Kammerverschlusswerkzeug für mehr Sicherheit und Betrieb.
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