Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS WC MCA #179308 zu verkaufen

ID: 179308
Chamber Watercooled Chamber body Adapter: 0040-02428 G12 Source Assy AC Box: 0010-22242 2 Position Gate Valve 2 Phase Cryo Pump Motorized Lift: 0010-13235 Magnet: 0010-01198.
AMAT/APPLIED MATERIALS WC MCA ist ein Kombinationsätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von Wafern entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um ausgewählte Materialien schnell zu ätzen und zu aschen, bestimmte Bereiche zu entfernen und den Rest des Chips intakt zu lassen. Ausgestattet mit einer integrierten Vakuumausrüstung ist das MCA in der Lage, Partikel oder unerwünschte Rückstände während des Ätzprozesses zu entfernen, was die Genauigkeit und Geschwindigkeit des Prozesses weiter erhöht. Darüber hinaus verfügt das MCA über ein robustes Energiemanagementsystem zur Steuerung und Regelung von Ätzzeiten, zur Minimierung des Energieverbrauchs und zur Maximierung des Durchsatzes. Das MCA hat eine Vielzahl von Ätzanwendungen, von Tiefätzen, die Trockenätzlösungen erfordern, bis hin zu flachen Ätzlösungen, die bestimmte Materialschichten und flache Gräben schneiden. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Prozesses und liefert Endanwendern effiziente und hochpräzise Ätzergebnisse. Das MCA hat auch eine Temperaturregelfunktion, die eine präzise Temperaturregelung über die Ätzlösungen ermöglicht, die Auswirkungen der Flüssigkeitsverdampfung eliminiert und konsistente Ätzraten unterstützt. Leistung bei 200 - 300 Watt bewertet, hat diese Ätz-/Acher-Einheit eine Stellfläche von 24 Zoll mal 24 Zoll und eine Höhe von 32 Zoll. Das MCA ist einfach in automatisierte Wafer-Fertigungssysteme integrierbar und kann in seriellen oder parallelen Prozesskonfigurationen eingesetzt werden. Die geringe Stellfläche des MCA macht es perfekt für den Einsatz in kleineren Fertigungsanlagen und sein kleiner Formfaktor bedeutet, dass es auf engem Raum installiert werden kann. Das MCA verfügt auch über zwei Waferkassetten, was bedeutet, dass es bis zu 30 Wafer pro Charge ätzen kann, was eine Serienfertigung ermöglicht. Die Steuermaschine für das MCA ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und verhindert „Ätzüberschuss“ durch inkonsistente Ätzparameter. Darüber hinaus bietet das Tool erweiterte Funktionen zur Prozessüberwachung und Datenerfassung, sodass Benutzer Rezepte für wiederholbare Prozesse speichern oder Debug-Informationen zur Analyse speichern können, wenn Dinge schief gehen. Es geht um Genauigkeit und Durchsatz, und AMAT WC MCA liefert. Mit zuverlässigen und präzisen Ätz- und Aschelösungen, geringem Energieverbrauch und hohem Volumendurchsatz ist das MCA ideal für Wafer-Fertigungsanlagen, die die Produktionseffizienz und die Wirtschaftlichkeit insgesamt verbessern möchten.
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