Gebraucht AMS 602 #293608576 zu verkaufen

AMS 602 ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE), der zum Tiefätzen und Profilieren von harten Materialien verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit und einen hohen Prozessdurchsatz zu erreichen. Es verfügt über ein hohes Maß an Prozesskontrolle und stabilen Bedingungen, auch bei Anwendungen mit hohem Durchsatz. 602 ist ein Hochdruckgerät mit einem maximalen Vorspanndruck von 1,5 Torr (1,5 × 10−3 mbar). Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess stark wiederholbar ist und die Ionenenergie durch Druckschwankungen nicht beeinträchtigt wird. AMS 602 ist mit zwei Anodenkathoden ausgestattet, die es ermöglichen, eine hohe Ätzrate zu erreichen und gleichzeitig ein hohes Maß an Prozessreproduzierbarkeit zu erhalten. Die Doppelelektroden sind in der Lage, den Ionenstrom, die Gasströme und die Vorspannung unabhängig zu steuern, wodurch bei der Auswahl der Ätzrezeptur eine Vielzahl von Prozessparametern berücksichtigt werden kann. Das System ist auch in der Lage, eine hohe Kontrolle über die Ätzselektivität und Oberflächenrauhigkeit zu gewährleisten. Eine hohe Ätzselektivität ist wichtig, um qualitativ hochwertige Ätzprofile zu erzielen, während eine geringe Oberflächenrauhigkeit den Materialverlust durch Überätzen minimiert. 602 ist in der Lage, dieses Kontrollniveau durch die Verwendung spezieller Ätzrezepte und die Zugabe von Dotierstoffen und anderen Materialien zum Ätzgas bereitzustellen. Die AMS 602 ist mit einer integrierten Wasserkühlung ausgestattet, die hohe Prozessgeschwindigkeiten ermöglicht. Die Kühlmaschine hilft auch, den Kühler und die Werkzeugkomponenten auf einer sicheren Betriebstemperatur zu halten und eine hohe Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die Wasserkühlung dient der kostengünstigen Kühlung der Ätzkammer, wodurch die Prozessgeschwindigkeit, Wiederholbarkeit und Qualität optimiert werden. Insgesamt ist 602 ein fortschrittlicher reaktiver Ionenätzer (RIE), der ausgezeichnete Ätzraten, Prozesswiederholbarkeit und hervorragende Ergebnisse bei der Verwendung zum Tiefätzen und Profilieren von harten Materialien liefert. Die Kombination aus Prozesssteuerung, hohen Ätzraten und zuverlässiger Wasserkühlung sorgt auch bei Anwendungen mit hohem Durchsatz für hervorragende Ergebnisse.