Gebraucht ANATECH P600 #9155507 zu verkaufen
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ID: 9155507
Plasma cleaner
Box chamber
Internal dimensions: 16" x 16" x 16"
(3) Shelves (Downstream)
RF Gen: 13.56 MHZ mod 600
(2) MFC Gas controls
Fomblin prepped direct drive vacuum pump.
ANATECH P600 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Halbleiter, Dünnschicht-integrierte Schaltungen und andere mikroelektronische Bauelemente. Es ist ein Einzelkammer-Modell, das leistungsstarke und vielseitige Prozessfähigkeiten bietet. Dieser Ätzer/Ascher hat einen Temperaturbereich von -150 bis 300 ° C zur schnellen Herstellung von ultrafeinen Merkmalen mit einem hohen Seitenverhältnis von 1:10 oder mehr. Seine Edelstahlkammer hat ein Volumen von 480 Litern und ist mit sechs 500W Heizstromversorgungen zur gleichmäßigen Temperaturverteilung ausgestattet. Seine ventilatorgekühlten Heizelemente sorgen für eine gleichmäßige Erwärmung während des Aschvorgangs. Darüber hinaus nutzt P600 Ätzer/Ascher eine HF-Plasmaquelle, um die Oberflächen von Materialien effizient und wirtschaftlich zu reinigen und zu ätzen. Dieses Modell ist in der Lage, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und andere trockene Gase zu verwenden, um eine Prozessumgebung zu schaffen, die den Anforderungen der Ätzanwendung entspricht. Es verfügt über vier HF-Leistungsstufen von 0 bis 500 Watt, wodurch optimierte Prozessbedingungen für verschiedene Projekte geschaffen werden können. ANATECH P600 etcher/asher verfügt über eine 3,8-Zoll-LCD-Schnittstelle, mit der der Benutzer alle notwendigen Parameter für eine erfolgreiche Anwendung von Ätz- und Ascheprozessen einstellen und anpassen kann. Dazu gehören Temperatur, Pumpendrehzahl, HF-Leistung, Durchflussraten und andere produktspezifische Parameter. Darüber hinaus können Anwender den Prozessdruck, die Temperatur und das Vakuumniveau überwachen, um sicherzustellen, dass die Bedingungen für das Ätzen und Aschen erreicht werden. Die Kammer wird mit einem Lecksucher versorgt, der es ihm ermöglicht, Korrekturen vorzunehmen, bevor der Prozess beginnt, um sicherzustellen, dass perfekte Bedingungen erfüllt sind. P600 Ätzer/Ascher verfügt über ein robustes Fensterreinigungssystem, das die Sichtbarkeit der Proben verbessert und Kontaminationen reduziert. Es ist auch mit einem Quarzkristallmikrobalance (QCM) -System ausgestattet, das die Abscheideraten verschiedener Prozessschritte überwachen kann. Das Stickstoffspülsystem verhindert die Oxidation von Proben und die wassergekühlten Fenster bieten Schutz vor Strahlungswärme. Der Ätzer/Ascher ist mit vielen verschiedenen Gasquellen kompatibel, was ihn zu einer geeigneten Wahl für viele Excimerlaser, Plasma, anisotrope, gerichtete Energieabscheidung und andere Anwendungen macht. Das umweltfreundliche Design macht es ideal für Labore, in denen Nachhaltigkeit von großer Bedeutung ist. ANATECH P600 Ätzer/Ascher ist zuverlässig, effizient und einfach zu bedienen, so dass es eine ausgezeichnete Lösung für jede mikroelektronische Anwendung ist.
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