Gebraucht ANATECH / TECHNICS 600-Series #9123994 zu verkaufen

ANATECH/TECHNICS 600-Series Ätzer oder Ascher sind vielseitige Bearbeitungssysteme, die speziell für den Prozess des Ätzens oder Aschens von Substraten entwickelt wurden. ANATECH 600-Series Ätz-/Aschersysteme bieten maximale Leistung und Flexibilität und ermöglichen Produktionsbetriebe auch komplexester Bauformen effizient und reproduzierbar. Das Gerät verfügt über einen proprietären 1200W HF-Generator, Quarz-Plasmakammer, anpassbare Prozesse, schnelle und einfache Rezeptprogrammierung, Niederdruckkontrolle und andere erweiterte Fähigkeiten. Das System TECHNICS 600 SERIES ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Polymere, Gläser, Halbleiter und dicke Folien zu ätzen. Das Gerät ist sowohl für Labor- als auch für Produktionsläufe ausgelegt und bietet einen einstellbaren Durchsatzbereich von bis zu 600 Wafern pro Stunde. Es ist eine Arc-Gap (AGAP) -Maschine, die eine proprietäre „abstimmbare“ Plasma-Gap-Technologie verwendet, um überlegene Ätzleistung mit präziser Wiederholbarkeit zu liefern. Dadurch entfällt eine aufwendige Waferbewegung und eine störende Fokusregelung. Das 600 SERIES Tool verfügt zudem über eine intuitive konsolenbasierte Software, die eine intuitive Bedienerführung und -steuerung bietet. Diese Software ist in der Lage, Rezepteinstellungen, Plasmaparameter, Substratbewegung, Temperaturregelung, Gase und andere kritische Prozessparameter zu steuern. Ein flexibles Programmiergerät ermöglicht es Benutzern, schnell Rezepte hochzuladen und mit verschiedenen Parametern zu experimentieren, um die besten Ergebnisse zu erzielen. 600-Series Modell ist in der Lage, mit einer breiten Palette von Ätzchemien in einer kontrollierten, sicheren Umgebung zu ätzen und zu aschen. Für Ätzanwendungen verwendet das Gerät ein automatisiertes Mehrgaseinspritzsystem, das sich ideal für eine erhöhte Empfindlichkeit, Genauigkeit und Kontrolle eignet. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Gasreinigern und Rekombinatoren, die eine präzise Steuerung der Ätzumgebung ermöglichen. Neben dem Ätzen und Aschen ist TECHNICS 600-Series Maschine für eine Vielzahl von Sputterprozessen konzipiert. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Sputterzielen und Substraten, wie metallischen Legierungen und Siliziumschichten, kompatibel. Seine Sputter-Prozesssteuerungsfunktionen ermöglichen es Benutzern, leicht die gewünschten Abscheidungsdicken und Profile zu erhalten. ANATECH 600 SERIES Asset bietet eine Reihe weiterer Funktionen wie Volumenkammern, automatisierte Sicht, Submikron-Waferauflösung und ein optionales Modell mit Doppelofenkassette. Diese fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine ist eine komplette schlüsselfertige Lösung, die Produktivität, Flexibilität und Reproduzierbarkeit maximiert.