Gebraucht APS / ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series #9390804 zu verkaufen

ID: 9390804
Vacuum treater.
APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Mikroelektronik, Optoelektronik und MEMS. APS B-Serie ist mit einer Vielzahl von fortschrittlichen Plasmaquellen ausgestattet, die verwendet werden, um Substrate mit Präzision und Genauigkeit zu ätzen. ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series verfügt über eine Vakuumkammer, die in der Lage ist, den gewünschten Prozessdruck zu erzeugen und zu steuern, um einen optimalen Ätzprozess zu gewährleisten. Der Ätzprozess kann in Echtzeit mit Hilfe eines eingebauten DC/RF-Generators überwacht und durchgeführt werden, der die genaue Steuerung der Energie der Plasmaquelle ermöglicht, um den Prozessanforderungen gerecht zu werden. Die B-Serie bietet auch einen einzigartigen Gasregler, der eine sofortige Einstellung und Überwachung der Gasflussparameter ermöglicht. APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Serie ist mit Sicherheitsfunktionen geladen, um die Sicherheit und den Ausrüstungsschutz des Benutzers zu gewährleisten. Diese Merkmale umfassen: eine zentrale Vakuumpumpe zum Evakuieren der Kammer in eine sichere Atmosphäre und eine Hochdruck-Notfallabbrechertaste zum automatischen Deaktivieren der Plasmaquelle, um versehentliche Schäden zu verhindern. Die APS B-Serie verfügt zudem über ein optimiertes Design, um mögliche Kontaminationen durch den Prozess oder den Prozess zu reduzieren. Dazu gehört ein Anti-Kontamination-System, das einen niedrigen Stickstoffgehalt in die Kammer injiziert, um mögliche Substratkontaminationen zu verhindern. ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series wurde entwickelt, um eine optimale Ätzleistung zu bieten. Die Plasmaquelle ist in der Lage, das Substrat mit hoher Präzision und minimaler Beschädigung fein zu verarbeiten. Aufgrund der Flexibilität der B-Serie können mehrere Ätztechniken verwendet werden: Trockenbau-Oberflächenverarbeitung, Magnetron-Sputtern und modifizierte Glimmentladung. APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series hat auch die Fähigkeit, sowohl RIE (Reactive-Ion-Etching) als auch RBO (Reactive-Bulk-Oxide-Etching) Techniken durchzuführen. Die Fähigkeit, zwei Techniken durchzuführen, ermöglicht schnellere Verarbeitungszeiten und einen höheren Durchsatz. APS B-Series ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um die genauesten und konsistentesten Ergebnisse beim Ätzen zu erzielen. Die erweiterten Funktionen ermöglichen eine präzise Kontrolle des Plasms sowie automatisierte Sicherheitsmerkmale zur Vermeidung von Kontaminationen. Mit seinem flexiblen Design kann ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden. Es ist die perfekte Lösung für eine Vielzahl von Ätzwerkstätten.
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