Gebraucht ARC ENERGY CHES400 #293667292 zu verkaufen

ARC ENERGY CHES400 ist ein Ätzer/Aser, der für eine einfache Bedienung für eine Vielzahl von Aufgaben konzipiert ist. Dieses Gerät verwendet eine Vakuumausrüstung, um die zu prüfende Vorrichtung (DUT) einer intensiven Plasmaquelle auszusetzen, wodurch ein hochselektiver und wiederholbarer Vorrichtungsätz- oder Aschevorgang entsteht. Diese Prozeßkammer weist eine Dreikammerausführung mit einer Vorkammer zur Erzeugung des Plasmas, einer Reaktionskammer zur Aufnahme des Vakuumätz- oder Aschevorganges und einem Gasfördersystem zur Einleitung des Reaktionsgases in die Reaktionskammer auf. CHES400 Gerät ist mit einem eingebauten HF-Generator ausgestattet, der ein Hochfrequenzsignal erzeugt, um die Elektrofunken-Plasmareaktion zu erzeugen. Die HF-Stromversorgung für ARC ENERGY CHES400 reicht von 0,05 bis 15kW und ermöglicht den Betrieb unterschiedlichster Plasmaätz-/Ascheprozesse. Ein computergesteuerter, programmierbarer Logikcontroller ermöglicht programmierbare Prozesskonfigurationen, sodass Benutzer den Prozess an ihre genauen Anforderungen anpassen können. Die anspruchsvolle Reticle-Positioniereinheit CHES400 Ausrüstung umfasst erweiterte Bewegungssteuerungsfunktionen. Die Gerätemaschine umfasst auch ein Vakuumwerkzeug und Gasfördersysteme, um optimale Betriebsbedingungen in der Reaktionskammer zu gewährleisten. Um eine übermäßige Erwärmung der DUT zu verhindern, enthält ARC ENERGY CHES400 auch eine erweiterte Kühleinrichtung, um Ätztemperaturen auf einem vorgegebenen Sollwert zu halten. CHES400 enthält auch eine oberhutartige Druckkammer, die eine automatische Abgas- und Entlüftung von Gasen aus der Reaktionskammer ermöglicht. ARC ENERGY CHES400 Geräte sind so konzipiert, dass sie zuverlässige, wiederholbare und reproduzierbare Ätz-/Aschevorgänge ermöglichen und eine hervorragende Leistung in einer Vielzahl von Anwendungen gewährleisten. Das anspruchsvolle Modell ist in der Lage, sehr gleichmäßige Ätzprofile mit minimalem Materialätzverlust und minimaler Beschädigung des DUT zu erstellen. Der von dieser Anlage durchgeführte Ätz-/Aschevorgang ist ebenfalls sehr selektiv und wiederholbar, was zu einer gleichbleibenden Ätzleistung führt, die einfach zu verwalten ist. Die Ausrüstung ist auch mit Sicherheitsfunktionen wie Hochdrucksensoren, Notabschaltung und Alarmen zum Schutz von Personal und Ausrüstung vor Gefahrensituationen ausgelegt. Insgesamt ist CHES400 eine fortschrittliche Plasmaätz-/Aschemaschine, die Anwendern zuverlässige, wiederholbare und reproduzierbare Leistung in einer Vielzahl von Anwendungen bietet. Diese Ausrüstung ist für eine einfache Bedienung ausgelegt und bietet herausragende Flexibilität für Ätz-/Ascheentwicklungen und kundenspezifische Operationen, um spezifische Ätzanforderungen zu erfüllen.