Gebraucht AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100 #9059485 zu verkaufen
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ID: 9059485
Wafergröße: 2 to 8
Weinlese: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-100 ist eine innovative Entwicklung in der Ätz-/Aschetechnik. Dieses System bietet führende Ätz-/Aschetechnologie für Unternehmen mit den anspruchsvollsten Anforderungen. Die modernste Technologie sorgt für präzise Konstruktionsmerkmale sowie erhöhte Genauigkeit und Produktivität. AST CIRIE-100 kann mit seinem fortschrittlichen Prozess sowohl Board als auch Panel in einem einzigen Durchgang ätzen/aschen. Es verwendet eine Vielzahl von Prozessgasen, die selektive Ätztiefen und Materialabtragung ermöglichen, was zu hochgenauen und wiederholbaren Strukturen führt. Mit seinem fortschrittlichen Prozessdesign bietet ADVANCED UNIT TECHNOLOGY CIRIE-100 Platz für eine Vielzahl von Platten- und Plattenmaterialien wie FR-4, Cem-3, Polyimid, Aluminium und mehr. Die motorisierte Höhenverstellmaschine von CIRIE-100 ermöglicht schnelle und einfache Werkzeugwechsel bei minimalen Ausfallzeiten. Das Tool verfügt auch über eine erweiterte Bewegungssteuerung und Laufwerk Asset mit einem Hochgeschwindigkeits-Scan-Algorithmus, der eine schnellere Ätzfunktionsauflösung ermöglicht. Der eng integrierte, modulare Aufbau ermöglicht eine vielseitige Integration und Skalierbarkeit, die auf die Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten sind. AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-100 bietet eine Vielzahl von zusätzlichen Funktionen und Konfigurationen, einschließlich einer integrierten Rezirkulationsausrüstung und einer erweiterten Prozessfähigkeit, die konfigurierbar ist, um unterschiedliche Prozessanforderungen zu erfüllen. Es verfügt über eine benutzerfreundliche, intuitive Controller-Oberfläche und die Fähigkeit, sowohl manuelle als auch programmierbare Rezepte zu generieren. Das System läuft im automatischen, halbautomatischen und manuellen Modus. AST CIRIE-100 bietet auch eine Vielzahl von erweiterten Sicherheitsfunktionen, um das Gerät vor unbeabsichtigten Beschädigungen sowie der Bedienersicherheit zu schützen. Diese Funktionen umfassen integrierte Verriegelungen, NFPA-Sicherheitskonformität und Staubausstoßfunktionen. Die Maschine ist CE-zertifiziert und UL-konform, so dass sie sicher in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen verwendet werden kann. Insgesamt bietet ADVANCED Tool TECHNOLOGY CIRIE-100 eine fortschrittliche Ätz-/Aschelösung, die sehr zuverlässig und effizient ist. Mit den Spitzenfunktionen von CIRIE-100 und den fortschrittlichen Prozessfähigkeiten können Anwender präzise strukturelle Merkmale mit erhöhter Genauigkeit und Produktivität erzielen.
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