Gebraucht AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L #9059489 zu verkaufen
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ID: 9059489
Weinlese: 2011
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
RF Power: 300 ~ 1000 W (Option)
Substrate Temperature Control: RT ~ 400℃
Wafer Numbers / Size: (30 -1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Reactor Base Pressure: < 1E-3 Torr
Process Pressure Range: From 50 mTorr to 10 Torr
Pumping System: Roots pump + Rotary pump or Dry pump(Option)
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System (Option): Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure (Option): < 1E-2 Torr
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 20 l/min
2011 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L Ätzer/Ascher ist eine Präzisionsmaschine zur Durchführung fortschrittlicher Ätz- und Aschetechniken an Metallteilen. Der Ätzer/Ascher verfügt über einen Niederdruck-gleichmäßigen internen Plasmastrahl, mit dem sowohl Ätz- als auch Ascherkomponenten in einer Vielzahl von Materialien eingesetzt werden können. AST CIRIE-100L ist eine Benchtop-Maschine mit präzisen Tisch- und Montagesystemen, die eine genaue Positionierung beim Ätzen und Aschen ermöglichen. Der Ätzer/Ascher ist in der Lage, Ätztiefen bis zu 0,0005 Zoll und Tiefen bis zu 0,001 Zoll für das Aschen sowie eine präzise Linienbreitensteuerung und einstellbare Phasenverschiebungen zu erreichen. ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L Ätzer/Asher ist auch mit erweiterten Funktionen für überlegene Ätz- und Ascherleistung ausgestattet. Dazu gehören elektrostatische Selbstentladung, hochscharfe Wellenformsteuerung, VCV-Filterung, High Dynamic Range Control (HDRC) und Axial Control Acceleration (ACA), die eine maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleisten, sowie verbesserte Oberflächenprofile für eine effiziente Materialentfernung. CIRIE-100L Ätzer/Ascher ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen wie Trockenstickstoffversorgungssensoren, Gasüberwachung und Lecksucher zur Vermeidung von Unfallemissionen ausgestattet. Die Ätz- und Ascheprozesse werden beide durch eine einfach zu bedienende Open-Platform-Software-Suite gesteuert, die es dem Bediener ermöglicht, den Ätz- und Ascheprozess in Echtzeit zu überwachen. AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L etcher/asher ist mit seinen fortschrittlichen Sicherheitsmaßnahmen, hoher Präzision und qualitativ hochwertiger Ätz- und Ascherleistung als zuverlässige Lösung für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen konzipiert.
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