Gebraucht ASYNTIS Silicon Star 8 #9114174 zu verkaufen

ID: 9114174
Wafergröße: 8"
Stress relief system for plasma etching, 8" Process data: Etch rate: up to 3 µm/min at process temperatures less than 70°C Throughput: 40 wafers/hour at 3 µm removal Process chamber: Inner diameter: 400 mm Chamber volume: 40 L Radical source on chamber top (remote plasma) Vacuum outlet with solenoid valve DN 63 ISO-K on bottom Automatic drawer door Viewing window Chamber leak rate: less than 5 Pa L/sec Radical generator: Water-cooled microwave radical generator Maximum power consumption: 2 kW Frequency: 2.45 GHz Water-cooled magnetron Gas supply: (3) Gas channels with solenoid valves and MFC's Stainless steel piping with 6 mm SWAGELOK fittings Down stream controller: butterfly valve DN 63 ISO-K Chuck system: Top plate for 8" wafers Water-cooled base Chamber controller: PLC controller and LCD display Multiple process programs Online viewing of process parameters Status and error messages Vacuum measurements: Capacitive vacuum gauge: gas type independent Measuring range: 1 to 1,000 Pa Main control unit: SIEMENS Simatic S7 Graphical user interface Online control of all parameters Robot system: 3-axis robot with servo drives Safety precautions: Emergency stop switch HF and UV absorbing view port Safety interlock system CE assembly and wiring regulations compliant (2) Cassette loaders (6) THERMO ELECTRON / HAAKE chillers: TC100 / TC300 (2) BUSCH Cobra DS 80 hivac pumps Facilities requirements: Cooling water for plasma source: 1/4" brass, 3L/min, 26°C, 0.5 to 1 bar Cooling water for chuck system: 1/4" brass, 5 L/min, 5 to 40°C, power: 2kW Process gas: 6 mm SWAGELOK, stainless steel, input: 2 bar Compressed air: 12 mm SWAGELOK, stainless steel, input: 4 to 6 bar Nitrogen purge: 12 mm SWAGELOK, input: 2 bar Currently in storage 230/400 VAC, 50/60Hz, 3-phase, 63A 2005 vintage.
ASYNTIS Silicon Star 8 ist ein Ätzer/Ascher entwickelt, um die Bedürfnisse einer Vielzahl von Branchen zu erfüllen. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen und Prozessen. Die Maschine ist mit einer hochpräzisen räumlichen optischen Ausrüstung ausgestattet, die eine Vielzahl von Auflösungen unterstützt. So können Anwender sehr präzise und präzise Messungen erzielen. Das System bietet 8 gleichzeitige hochauflösende optische Strahlen, mit einer Möglichkeit der weiteren Aufteilung von Strahlen bis zu 80 Millionen Mal für genaues Ätzen und Aschen. Die Genauigkeit des Geräts übersteigt 5 nm in vertikaler Richtung und 1 nm in 2D-Richtung, was es perfekt für hochpräzise Lithographie macht. Die Maschine ist weiter mit einer variablen Fokuslinse ausgestattet. Dieses Merkmal ermöglicht eine gleichzeitige Steuerung von Schärfentiefe und Intensität, was in der Halbleiterindustrie besonders nützlich ist. Der Ätzer/Ascher ist zudem mit einer verlustarmen und vibrationsbeständigen optischen Kopfbewegungsmaschine ausgestattet. Das Werkzeug ist in der Lage, mit einer Genauigkeit von 1 µm in horizontaler Richtung zu positionieren. Die Positioniergenauigkeit auf der vertikalen Achse liegt innerhalb eines 500nm-Bandes, was eine erhebliche Genauigkeit der Anwendung ermöglicht. Silicon Star 8 verfügt über eine multifunktionale Kühlung, die die optischen Komponenten effizient kühlen soll. Obwohl das Modell entwickelt wurde, um natürliche Luftkonvektion zu nutzen, um Komponenten zu kühlen, ist das Gerät in der Lage, die optischen Komponenten aktiv zu kühlen, indem es den Luftstrom reguliert. Dadurch wird sichergestellt, dass das System jederzeit mit optimaler Leistung läuft. Das Gerät ist ferner mit einer hochpräzisen optischen Tracking-Maschine ausgestattet. Dieses Werkzeug ist in der Lage, das geätzte oder ashte Material in Echtzeit zu verfolgen. Position, Orientierung und Dicke können für genaues und präzises Ätzen oder Aschen verfolgt werden. Schließlich ist die Anlage mit einer automatischen selektiven Ätztechnologie ausgestattet. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Materialien selektiv zu ätzen, ohne manuell eingreifen zu müssen. Diese Funktion ist sehr nützlich, wenn es um komplexe und komplizierte Muster geht. Insgesamt ist ASYNTIS Silicon Star 8 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der Anwendern eine hohe Präzision und Genauigkeit bietet. Das Modell eignet sich für eine Vielzahl von Branchen und Prozessen, und seine Eigenschaften machen es für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie sehr begehrt.
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