Gebraucht ASYNTIS Silicon Star 8 #9114174 zu verkaufen
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ID: 9114174
Wafergröße: 8"
Stress relief system for plasma etching, 8"
Process data:
Etch rate: up to 3 µm/min at process temperatures less than 70°C
Throughput: 40 wafers/hour at 3 µm removal
Process chamber:
Inner diameter: 400 mm
Chamber volume: 40 L
Radical source on chamber top (remote plasma)
Vacuum outlet with solenoid valve DN 63 ISO-K on bottom
Automatic drawer door
Viewing window
Chamber leak rate: less than 5 Pa L/sec
Radical generator:
Water-cooled microwave radical generator
Maximum power consumption: 2 kW
Frequency: 2.45 GHz
Water-cooled magnetron
Gas supply:
(3) Gas channels with solenoid valves and MFC's
Stainless steel piping with 6 mm SWAGELOK fittings
Down stream controller: butterfly valve DN 63 ISO-K
Chuck system:
Top plate for 8" wafers
Water-cooled base
Chamber controller:
PLC controller and LCD display
Multiple process programs
Online viewing of process parameters
Status and error messages
Vacuum measurements:
Capacitive vacuum gauge: gas type independent
Measuring range: 1 to 1,000 Pa
Main control unit:
SIEMENS Simatic S7
Graphical user interface
Online control of all parameters
Robot system: 3-axis robot with servo drives
Safety precautions:
Emergency stop switch
HF and UV absorbing view port
Safety interlock system
CE assembly and wiring regulations compliant
(2) Cassette loaders
(6) THERMO ELECTRON / HAAKE chillers: TC100 / TC300
(2) BUSCH Cobra DS 80 hivac pumps
Facilities requirements:
Cooling water for plasma source: 1/4" brass, 3L/min, 26°C, 0.5 to 1 bar
Cooling water for chuck system: 1/4" brass, 5 L/min, 5 to 40°C, power: 2kW
Process gas: 6 mm SWAGELOK, stainless steel, input: 2 bar
Compressed air: 12 mm SWAGELOK, stainless steel, input: 4 to 6 bar
Nitrogen purge: 12 mm SWAGELOK, input: 2 bar
Currently in storage
230/400 VAC, 50/60Hz, 3-phase, 63A
2005 vintage.
ASYNTIS Silicon Star 8 ist ein Ätzer/Ascher entwickelt, um die Bedürfnisse einer Vielzahl von Branchen zu erfüllen. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen und Prozessen. Die Maschine ist mit einer hochpräzisen räumlichen optischen Ausrüstung ausgestattet, die eine Vielzahl von Auflösungen unterstützt. So können Anwender sehr präzise und präzise Messungen erzielen. Das System bietet 8 gleichzeitige hochauflösende optische Strahlen, mit einer Möglichkeit der weiteren Aufteilung von Strahlen bis zu 80 Millionen Mal für genaues Ätzen und Aschen. Die Genauigkeit des Geräts übersteigt 5 nm in vertikaler Richtung und 1 nm in 2D-Richtung, was es perfekt für hochpräzise Lithographie macht. Die Maschine ist weiter mit einer variablen Fokuslinse ausgestattet. Dieses Merkmal ermöglicht eine gleichzeitige Steuerung von Schärfentiefe und Intensität, was in der Halbleiterindustrie besonders nützlich ist. Der Ätzer/Ascher ist zudem mit einer verlustarmen und vibrationsbeständigen optischen Kopfbewegungsmaschine ausgestattet. Das Werkzeug ist in der Lage, mit einer Genauigkeit von 1 µm in horizontaler Richtung zu positionieren. Die Positioniergenauigkeit auf der vertikalen Achse liegt innerhalb eines 500nm-Bandes, was eine erhebliche Genauigkeit der Anwendung ermöglicht. Silicon Star 8 verfügt über eine multifunktionale Kühlung, die die optischen Komponenten effizient kühlen soll. Obwohl das Modell entwickelt wurde, um natürliche Luftkonvektion zu nutzen, um Komponenten zu kühlen, ist das Gerät in der Lage, die optischen Komponenten aktiv zu kühlen, indem es den Luftstrom reguliert. Dadurch wird sichergestellt, dass das System jederzeit mit optimaler Leistung läuft. Das Gerät ist ferner mit einer hochpräzisen optischen Tracking-Maschine ausgestattet. Dieses Werkzeug ist in der Lage, das geätzte oder ashte Material in Echtzeit zu verfolgen. Position, Orientierung und Dicke können für genaues und präzises Ätzen oder Aschen verfolgt werden. Schließlich ist die Anlage mit einer automatischen selektiven Ätztechnologie ausgestattet. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Materialien selektiv zu ätzen, ohne manuell eingreifen zu müssen. Diese Funktion ist sehr nützlich, wenn es um komplexe und komplizierte Muster geht. Insgesamt ist ASYNTIS Silicon Star 8 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der Anwendern eine hohe Präzision und Genauigkeit bietet. Das Modell eignet sich für eine Vielzahl von Branchen und Prozessen, und seine Eigenschaften machen es für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie sehr begehrt.
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