Gebraucht AVIZA Sigma FxP #293823281 zu verkaufen
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ID: 293823281
PVD system
Frequency: 60 Hz
Voltage: 400 V
(2) CSW-61 Cryo-compressors
(4) KASIYAMA MU100 Dry pumps
MKS GE50A Mass Flow Controllers (MFC)
CDA (Clean Dry Air) Cooling system
PFEIFFER HiPace 300 Turbo pump
PFEIFFER HiPace 700 Turbo pump
GTM-OS Transport module
Front monitor: trolley
Rear monitor: laptop
Paramount RF PSU (PM2) Power supply
RFA-600A (PM3) Power supply
Ascent units: 20 kW
Magnetrons
Shutters
Resistor banks
Platen: SP-CrOx
Wafer lift rings
Wafer retainers
Pins
VX Aligner (AUX – Left)
GEM Interface
SECS / SECS-II Communication interfaces
Cables
HE Leak port
Hoist Rev B MM.
AVIZA Sigma FxP ist eine leistungsstarke Ätz-/Aschemaschine für Halbleiterherstellungsprozesse. Dieses modernste Tool integriert fortschrittliche Technologien, um präzise und einheitliche Ätz- und Ascheoperationen zu ermöglichen, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen (ICs) und anderer mikroelektronischer Geräte von entscheidender Bedeutung sind. Sigma FxP-System bietet eine umfassende Reihe von Funktionen und Fähigkeiten, die es Halbleiterherstellern ermöglichen, die hohen Anforderungen moderner Geräteherstellungsprozesse zu erfüllen. Kern der AVIZA Sigma FxP Einheit ist die robuste Plasmabearbeitungskammer, die eine kontrollierte Umgebung für verschiedene Ätz- und Ascheranwendungen bietet. Die Kammer ist mit einer hochfrequenten HF-Plasmaquelle ausgestattet, die eine stabile Plasmaentladung erzeugt, um eine effiziente Materialentfernung und Oberflächenreinigung zu ermöglichen. Die Plasmaquelle ist in der Lage, eine breite Palette von Chemikalien zu produzieren, so dass Benutzer die optimalen Prozessgase und Parameter für bestimmte Gerätestrukturen und Materialien auswählen können. Eine der Hauptstärken der Sigma FxP Maschine ist ihre Vielseitigkeit bei der Unterstützung mehrerer Ätz- und Aschertechniken. Das Werkzeug kann sowohl Trockenätzen als auch Plasmaascher-Prozesse durchführen und bietet Flexibilität bei der Erfüllung unterschiedlicher Prozessanforderungen in der Halbleiterherstellung. Trockenätzen wird üblicherweise zur präzisen Entfernung spezifischer Materialschichten auf Halbleiterscheiben verwendet, während Plasmaascher vor nachfolgenden Bearbeitungsschritten zur Rückstandsentfernung und Oberflächenaufbereitung verwendet wird. AVIZA Sigma FxP Asset ist mit erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse über Produktionsläufe hinweg zu gewährleisten. Das Modell verfügt über Echtzeit-Überwachungs- und Feedback-Mechanismen, die es Anwendern ermöglichen, Prozessparameter im Handumdrehen zu optimieren und die Kontrolle über Ätz- und Ascherleistung zu behalten. Darüber hinaus ist das Gerät mit intelligenten Software-Algorithmen integriert, die Prozessstabilität und Zuverlässigkeit erhöhen und Variationen und Defekte in der Geräteherstellung minimieren. Zusätzlich zu seinen Prozesssteuerungsfunktionen bietet Sigma FxP eine Reihe von Automatisierungsfunktionen, die die Betriebseffizienz und den Durchsatz verbessern. Das Gerät ist für die nahtlose Integration in Halbleiterfertigungsleitungen konzipiert, um Produktionsabläufe zu optimieren und Zykluszeiten zu reduzieren. Automatisierte Be- und Entladevorrichtungen ermöglichen eine schnelle Handhabung von Wafern, während Roboterarme einen In-situ-Wafer-Transfer zwischen Bearbeitungskammern für einen kontinuierlichen Betrieb ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die AVIZA Sigma FxP-Maschine über erweiterte Sicherheitsfunktionen, um den Schutz des Bedieners und die Integrität der Ausrüstung während der Verarbeitung zu gewährleisten. Das Werkzeug ist mit Interlocks und Sensoren ausgestattet, die kritische Parameter wie Kammerdruck, Gasdurchflussraten und Plasmabedingungen überwachen, um potenzielle Gefahren zu vermeiden und eine sichere Betriebsumgebung zu erhalten. Darüber hinaus ist die Anlage mit integrierten Notfallabschaltverfahren und Sicherheitsprotokollen konzipiert, um Risiken im Falle eines unerwarteten Modellausfalls zu mindern. Insgesamt stellt Sigma FxP eine hochmoderne Etcher/Ascher-Lösung für Halbleiterhersteller dar, die nach leistungsfähigen und zuverlässigen Plasmabearbeitungsfähigkeiten suchen. Mit seinen fortschrittlichen Technologien, umfassenden Funktionen und seinem robusten Design ermöglicht das AVIZA Sigma FxP-System Halbleiterherstellern hohe Erträge, eine überlegene Gerätequalität und eine verbesserte Prozesseffizienz in der heutigen anspruchsvollen Halbleiterherstellungslandschaft.
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