Gebraucht AVIZA / SPTS Omega i2L #293647178 zu verkaufen
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ID: 293647178
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
ICP Etcher, 8"
ICP Chamber
ESD Chuck
ESC
ADVANCED ENERGY Paramount 1513 RF Generator, 1.5 kW
HiLight 133 RF Generator, 300 W
Spectrum view / End point detector
Gases:
BROOKS AUTOMATION MFC
N2 (Purge)
Ar
N2
O2
O2
CHF3
CF4
BCL3
CL2
Missing parts:
CU500 Chiller
Dry pump
Panels
ISOPOD Power
2007 vintage.
SPTS Omega i2L ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für die Hochvakuumverarbeitung einer Reihe von Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine leistungsstarke, flexible Ätzausrüstung mit einer großen Palette von Prozessoptionen, so dass Kunden schnell und zuverlässig eine Vielzahl von komplizierten Eigenschaften auf einer Reihe von Materialien produzieren können. Kern des Systems ist eine leistungsstarke Einwafer-Vakuumätzquelle mit einer Reihe von kontrollierten Ätzgasen, die eine hohe Flexibilität bei der Auswahl von Ätzprozessen bietet. Die Ätzquelle hat einen großen Ätzratenbereich von 3 bis 200 nm/min und ist in der Lage, reaktives Ionenätzen (RIE), isotropes Ätzen und tiefes anisotropes Ätzen durchzuführen. Es unterstützt eine breite Palette von klar definierten Ätzgasen und ermöglicht auf das Zielmaterial zugeschnittene Ätzprozesse. Omega i2L verfügt auch über einen Einzel-Wafer-Ascher. Auf diese Weise können Kunden sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse auf demselben Gerät abschließen, um die Effizienz und Produktivität zu verbessern. Der Ascher verfügt über eine hochwertige Plasmaquelle und ist in der Lage, Prozesse von 1000℃ bis 600℃ zu veraschen. Es verfügt auch über eine automatisierte Steuerung des Sauerstoffflusses, wodurch die Abstimmung der Ascheprozesse je nach Zielmaterial erleichtert wird. Neben dem Ätzer/Ascher umfasst SPTS Omega i2L auch eine integrierte Vakuummaschine mit einer elektronischen Turbopumpe und zwei Schrupppumpen, die eine hohe Prozessstabilität und Leistung bieten. Dies ermöglicht es Anwendern, Hochvakuum-Prozessbedingungen in einer Reihe von Kammergrößen zu erreichen und so optimale Prozessergebnisse zu gewährleisten. Zusammenfassend ist Omega i2L ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine große Auswahl an Prozessoptionen bietet und es Kunden ermöglicht, schnell und zuverlässig komplexe Funktionen auf einer Reihe von Materialien zu produzieren. Es umfasst auch ein integriertes Vakuumwerkzeug und eine Reihe automatisierter Prozesse, die ein hohes Maß an Leistung und Prozessstabilität bieten. Es ist die ideale Wahl für eine breite Palette von kritischen Ätz- und Ascheanwendungen.
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