Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 MCU #9399673 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 MCU ist ein fortschrittliches Mikroprozessor-basiertes ultraviolettes Belichtungsgerät, das in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Das System ermöglicht eine verbesserte Prozesssteuerung mit hohem Durchsatz und Flexibilität. Die Belichtungseinheit umfasst ein patentiertes hydraulisches Emissionsmodul (HEM) und eine Smart Seat Substrate Positioning Machine (SSSPS), die eine schnelle, präzise und wiederholbare Substratpositionierung ermöglicht. Dieses Werkzeug verfügt auch über ein Robotertransportmodul (RTM), das die Beförderung mehrerer Substrate zwischen dem HEM und SSSPS ermöglicht. Das Hydraulische Emissionsmodul ist ein spezialisierter Satz von Komponenten, die die Substratausrichtung, Lichtintensitätssteuerung und Dosissteuerung der Anlage verarbeiten. Es ist in der Lage, sechs fokussierte Säulen mit ultraviolettem Licht zu emittieren, was eine gleichmäßige Belichtung des Substrats mit der Lichtquelle gewährleistet. Das Smart Seat Substrate Positionierungsmodell ermöglicht eine wiederholte Ausrichtung des Substrats während jedes Belichtungsimpulses. Sein fortschrittlicher Algorithmus führt eine schnelle und genaue Rückkopplungsschleife aus, um den Kontakt zwischen dem Substrat und der Maske zu optimieren. Dabei wird eine Kombination aus Sehsensoren, Lasersonden, feiner Z-Achsen-Einstellung und Substrat-Setup-Parametern verwendet. Das Robotic Transport Modul vereinfacht die Handhabung von Substraten durch Be- und Entladen von Substraten aus HEM und SSSPS. Es ermöglicht die Synchronisation der Förderanlagentransfer des Substrats, die Zeitverzögerungen zwischen jedem Zyklus des Belichtungsprozesses reduziert. FUSION 200 MCU bietet dem Anwender einen kompletten Satz von Software-Tools zur Datenanalyse, Prozesssteuerung und Optimierung. Es bietet die Möglichkeit, Rezepte und Prozessparameter zu speichern und anzuzeigen und kann auch Berichte mit Daten aus mehreren Belichtungen generieren. AXCELIS 200 MCU ist auch für eine breite Palette von Substratgrößen, Geometrien und Materialien konzipiert. Das fortschrittliche optische Design ermöglicht es, unterschiedliche Dicken des Substratmaterials und sich ändernde Prozessbedingungen aufzunehmen. Darüber hinaus bietet es maximale Produktivität dank seiner verbesserten Lebenszykluseffizienz. Insgesamt ist 200 MCU ein fortschrittliches, hochdurchsatzreiches und flexibles Belichtungssystem, das dem Anwender eine größere Kontrolle über den Prozess und eine höhere Effizienz bietet. Seine fortschrittlichen Komponenten und Software-Tools bieten dem Anwender einen optimierten Belichtungsprozess, der eine genaue Kontrolle und Optimierung des Belichtungsprozesses gewährleistet.