Gebraucht AXCELIS / FUSION 300 MM #9182227 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 300 MM Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um präzise geätzte und aschierte Metallisierungsmuster für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente, MEMs und 3D-Integration zu erzeugen. Das System besteht aus zwei Teilen: dem Ätzer und dem Ascher. Der etcher wird mit einer hohen Machtionsquelle der Elektronzyklotronklangfülle (ECR) ausgestattet, und ein programmierbarer hat, inner, bidirektional, Vektorenabtastung, Schlitzscan elektrostatische Balkenformeneinheit Partei mehrergriffen. Dadurch kann ein sehr breites Spektrum von Partikeln ausgewählt werden und je nach Anwendungszweck vertikale Profiltiefe und Gleichmäßigkeit variieren. Der Ascher ist mit einer hochleistungsfähigen, integrierten, mehrfrequenten, programmierbaren HF-Plasmaquelle ausgestattet, die ein gleichmäßiges Aschen über das gesamte Werkstück gewährleistet und die Markteinführungszeit für fortgeschrittene Halbleiterbauelementanwendungen verbessert. Die Maschine kann FUSION 300 MM Wafer handhaben und ist für hohen Durchsatz und große Genauigkeit in den Herstellungsprozessen gebaut. Es verfügt über zwei separate Gas-Duschkabinen (GSA) für eine optimale Gasförderung. Mit doppelseitigem Verfahren ist die Kammer in der Lage, bis zu acht Prozesse zu unterstützen, einschließlich Ätzen, Aschen, Folienabscheidung, Reinigung, Passivierung und Strukturierung. Es enthält auch einen integrierten Mehrfarben-Scanner zur Überwachung von Prozessparametern, um eine zuverlässige Herstellung von Produkten mit optimaler Leistung zu gewährleisten. AXCELIS 300 MM Ascher/Ätzer ist auch sehr anpassbar, so dass Benutzer die besten Prozessbedingungen für ihre Anwendungen auswählen können. Durch seine Software-Schnittstelle kann das Tool eine Vielzahl von Prozessrezepten verarbeiten. Die Rezepte werden in der Asset-Datenbank verwaltet und mithilfe einer anpassbaren graphenbasierten Anzeige abgerufen oder bearbeitet. Das Modell ist auch in eine Bedienerkonsole integriert und bietet eine effiziente Möglichkeit, den Prozess zu überwachen und Parameter in Echtzeit anzupassen, um die besten Ergebnisse zu erzielen. 300 MM Ätzer/Ascher ist CE- und SEMI-Sicherheitszertifiziert und ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung von Spitzenmaterialien, die aufwendige Ätz- und Ascheprozesse erfordern. Seine Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit machen es zu einer guten Wahl für Unternehmen, die Halbleiterbauelemente von ausgezeichneter Qualität herstellen möchten.