Gebraucht AXCELIS / FUSION ES3 #293616813 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION ES3 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die von FUSION Technologies entwickelt und hergestellt wurde. Es bietet eine erweiterte Ätz-/Aschefähigkeit in nassen und trockenen Ätz-/Ascheprozessen. FUSION ES3 verfügt über ein einzigartiges Doppelkammerdesign, mit dem eine Vielzahl von Ätz-/Ascheparametern schnell und einfach geändert werden können. Es ist in der Lage, Hochdurchsatzverarbeitung mit Geschwindigkeiten von bis zu 35 Wafern pro Stunde. AXCELIS ES3 verfügt über eine fortschrittliche EPICAL (e-Process Image-Controlled Ashing) -Technologie, die es dem System ermöglicht, Ätz-/Ascheparameter mit hoher Präzision ohne manuellen Eingriff genau zu steuern. EPICAL kombiniert Wafer-Imaging, Parameteroptimierung und eine ausgeklügelte Prozess-Steuereinheit, um eine optimale Ätz-/Ascheleistung zu gewährleisten. Diese Technologie hat sich als robuste Prozessabwicklung mit hervorragender Wiederholbarkeit erwiesen, insbesondere in Anwendungen mit hohen Seitenverhältnissen, hoher Schichtdicke und großen Merkmalsgrößen. ES3 ist auch hinsichtlich seiner Nutzungsumgebung vielseitig einsetzbar. Es kann mit einer Vielzahl von Riemenkonfigurationen, Vakuumanschlüssen und Hardware-Setups konfiguriert werden. Diese Maschine verfügt außerdem über eine große, dynamische Touchscreen-Benutzeroberfläche, die eine intuitive und mühelose Benutzererfahrung bietet. Der Bildschirm ist für eine einfache Navigation konzipiert und bietet dem Bediener schnell und bequem Zugriff auf verschiedene Prozesse und Rezepte. Auch AXCELIS/FUSION ES3 bietet außergewöhnliche Sicherheit und Energieeffizienz. Das Werkzeug ist mit einer speziell entwickelten E-Safe-Funktion ausgestattet, die die Leistungsabgabe des Geräts ständig überwacht und automatisch moduliert. Diese Funktion gewährleistet präzise Ätz-/Ascheniveaus und ein extrem geringes Überätzrisiko. Auch sind Schutzmaßnahmen vorhanden, um Überhitzungen zu verhindern und die Leistung des Modells auch bei energiereichen Prozessen zu erhalten. Schließlich ist FUSION ES3 für seine robusten Prozesskontrollfunktionen bekannt. Das Gerät verfügt über einen einzigartigen Prozessmonitor, mit dem Sie den Ätz-/Ascheprozess, seine Rezepte, Messdaten und andere Prozessparameter in Echtzeit verfolgen können. AXCELIS ES3 bietet zudem zahlreiche Möglichkeiten zur Datenanalyse, Datenspeicherung und Berichterstattung. All diese Funktionen machen ES3 zu einem der fortschrittlichsten Ätzer/Ascher auf dem heutigen Markt.