Gebraucht AXCELIS / FUSION ES3 #293802351 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION ES3 Ätzer/Ascher ist eine integrierte Lösung, die modernste Technologie für Plasmaätzen, Plasmaveraschen und andere verwandte Prozesse bietet. Es ist eine Kombination aus FUSION RF-Generator, der renommierten Plattform zur Steuerung der Prozesschemie und FUSION ES3 Ätz-/Ascherkammer. AXCELIS RF-Generator verfügt über 300 MHz gepulste HF-Quellen für Ätz- und/oder Ascheprozesse. Es verfügt über einen breiten Leistungs- und Zeitregelungsmodus, der eine präzise Steuerung und Gleichmäßigkeit des Prozesses ermöglicht. Der HF-Generator ist auch mit einem innovativen Dual-Frequenz-Steuergerät ausgestattet, das konfiguriert werden kann, um die Leistung in zwei unabhängigen Frequenzbändern zu steuern. Diese Funktion gewährleistet eine optimierte Prozessgleichförmigkeit und ermöglicht es dem Generator, schnell auf Änderungen der Prozessbedingungen zu reagieren. AXCELIS ES3 Ätz-/Ascherkammer ist eine Kombination aus zwei Prozesskammern und einem integrierten Transfersystem. Die Ätzkammer verfügt über zeitgesteuerte Prozesse und eine große Gasströmungsfähigkeit, die eine hervorragende Kontrolle über den Ätzprozess bietet. Die Ascherkammer nutzt die dynamische Oxidation in einer Sauerstoffatmosphäre, um eine schnelle Entfernung von organischen Stoffen auf dem Wafer zu erreichen. Es ist mit einem Erweiterungsanschluss konzipiert, der zukünftige Flexibilität und Erweiterbarkeit ermöglicht. Die integrierte Transfereinheit besteht aus einem Roboterarm und einem Shuttle, die für hohen Durchsatz und Produktivität ausgelegt sind. ES3 Ätzer/Ascher ist eine zuverlässige und leistungsstarke Maschine, die konsistente, einheitliche Ergebnisse für Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es einfach zu bedienen macht und hilft, die Produktivität zu maximieren. Das Zweifrequenz-Steuerwerkzeug sorgt für eine präzise Steuerung des Prozesses und ermöglicht präzises Ätzen und Aschen bei geringen Kosten. Diese integrierte Lösung bietet Anwendern eine komplette Ätz-/Aschelösung und bietet ihnen alles, was sie benötigen, um überlegene Ergebnisse zu erzielen.