Gebraucht AXCELIS / FUSION ES3 #293822281 zu verkaufen
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AXCELIS / ES3 etcher/asher FUSION ist ein fortgeschrittener vorgebracht - ätzen Ausrüstung mit einem völlig automatisierten Kassette-zu-Kassette-Substratberührensystem für Ultratecxa™ und Accubond™ Oblaten. Mit seiner vollautomatischen Wafer-Transfereinheit erzielt FUSION ES3 extrem hohe Ausbeuten bei gleichzeitig höchster Prozesswiederholbarkeit und -stabilität. AXCELIS ES3 erzielt durch sein kompatibles Hochdurchsatz-Suszeptor-Design höhere Durchsätze. Das Suszeptor-Design hat eine obere Stufe Brunnengeometrie mit einem Quartett von RS36 und RS46 Schlitzkonfigurationen. Diese Variablen tragen insgesamt zu einem verbesserten Ätzprozess bei, der einen größeren Materialabtrag bei deutlich reduzierter Partikelgröße ermöglicht. Darüber hinaus bietet ES3 Ätzer/Ascher eine überlegene Anpassung in Bezug auf den Ätzprozess. Diese Gleichmäßigkeit der Ätzraten ermöglicht eine höhere Wiederholbarkeit und Kontrolle. Die Ätzgleichmäßigkeit wird durch vier Eckversätze und acht Mittelfeld-Fotozellen-Sensoren überwacht. Diese Überwachungsmaschine erzeugt eine ultrafeine Kontrolle über den gesamten Ätzprozess. AXCELIS/FUSION ES3 Ätzer/Ascher wird von einer proprietären Prozesssteuerungssoftware betrieben. Diese Software bietet eine zentrale Steuerung und Datenverwaltung zahlreicher Ätzprozesse und ermöglicht gleichzeitig den Zugriff mehrerer Benutzer auf gemeinsame Prozessdaten. Diese Plattform ermöglicht es Kunden, eigene Prozesse zu erstellen oder Parameter aus anderen etablierten Prozessen zu entwickeln, die eine beispiellose Modifikation und Abstimmung der Ätzkammer ermöglichen. FUSION ES3 Ätzer/Ascher wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Es ist in einer vollständig geschlossenen Vakuumumgebung untergebracht, komplett mit Zugangstüren und einem abnehmbaren Abgasanschluss. Das Containment-Werkzeug soll die unbeabsichtigte Freisetzung gefährlicher Nebenprodukte aus dem Ätzprozess verhindern sowie Arbeiter und Geräte vor gefährlichen Gasen oder Materialien schützen. Insgesamt ist AXCELIS ES3 Ätzer/Ascher ein fortschrittliches Hochdurchsatz-Halbleiterätz- und -Veraschungs-Asset. Das Suszeptor-Design ist intuitiv und ergonomisch und ermöglicht eine höhere Wiederholbarkeit und Kontrolle im Ätzprozess. Es verfügt über eine breite Prozessunterstützung, Sicherheitsfunktionen und ein komfortables Operationssteuerungsmodell, das es zu einer guten Wahl für Benutzer macht, die nach einer zuverlässigen, effizienten Ätzausrüstung suchen.
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