Gebraucht AXCELIS / FUSION ES3i #293802266 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION ES3i ist eine Dual-Beam-Ätz-/Aschemaschine mit hohem Durchsatz, die zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse in der Halbleiterindustrie liefert. Es ist in der Lage, Silizium, Verbindung und Nicht-Silizium-basierte Materialien zu ätzen und zu aschen. Es verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), um eine sehr enge und tiefe Ätzung bereitzustellen, und hat auch einen Resiststreifenmodus zur schnellen Entfernung von Resist- und Passivierungsschichten. Das System kann Ätz- und Aschetiefen von bis zu 50µm in einem Durchgang erzielen.FUSION ES3i verfügt über eine Dual-Beam-Architektur, die das gleichzeitige Ätzen und Aschen von zwei Wafern in derselben Kammer für einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Es verwendet eine HF-Plasmaquelle, eine Quellenleistungsrampe und eine vorhersagende Ionenenergie-Controller-Einheit, die die Notwendigkeit einer Endpunktdetektion eliminiert und eine konstant hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit gewährleistet. Die Maschine nutzt eine ausgeklügelte Benutzeroberfläche, mit Unterstützung für intelligente Technologien, um jeden Schritt des Prozesses zu optimieren, sowie die Integration von Ausgabedaten in den Host-Tool-Controller. AXCELIS ES3i ist eine skalierbare Plattform, die hohe Prozessflexibilität bietet und Multi-Wafer-Ätz- und Ascherezepte ermöglicht. So kann beispielsweise vorgesehen sein, unterschiedliche Gase in einer einzigen Prozesskammer einzusetzen, Wafer mit beheiztem und gekühltem PECVD zu bearbeiten oder bei Fertigstellung des ersten Wafers automatisch zwischen zwei Wafern umzuschalten. Es verfügt außerdem über eine hochpräzise Endpunkterkennung zur Überwachung kritischer Prozessparameter sowie über eine Reihe vorbeugender Wartungsoptionen, einschließlich Überdruck, Übertemperatur und Vakuumschutz. Darüber hinaus bietet ES3i erweiterte Datenverwaltungsoptionen, mit denen Benutzer Prozessergebnisse überwachen, überprüfen und berichten können. Es wurde entwickelt, um Echtzeit-Feedback zu liefern, mit automatisierten Alarmen bei Prozessabweichungen und der Möglichkeit, bis zu 30 Rezepte für die zukünftige Verwendung zu speichern. Zu guter Letzt kommt es mit einem 98% sauberen Kammerdesign, Verringerung der Partikelverunreinigung und einem speziellen Anschluss für den Gasanschluss, der Aufbau, Wartung und Leistungsoptimierung vereinfacht.