Gebraucht AXCELIS / FUSION G03 #9187678 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION G03 ist ein leistungsstarker mittelgroßer Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen mit hervorragenden Ergebnissen. Diese Ausrüstung bietet maximale Prozessflexibilität und schnelle Laufzeiten und bietet ein fortschrittliches Steuerungs- und Überwachungssystem, um höchste Qualität und Reaktionsfähigkeit zu gewährleisten. Dieser Ätzer/Ascher verwendet die chlorbasierte Chemie in einer Ätzeinheit mit zwei Dielektrika, die leicht auf die gewünschten Ergebnisse optimiert werden kann. FUSION G03 bietet fortschrittliche Steuerungskomponenten, die eine mehrstufige Prozessüberwachungsmaschine und eine Halbkammer-Temperaturmessung umfassen. Dieses Tool ist auch mit einem leistungsstarken genauen Reinigungsmittel, einschließlich einer speziellen Reinigungskammer und einem Environmental Management Model (EMS) ermöglicht. Dadurch kann der Benutzer den Reinigungsprozess für optimale Ätzergebnisse steuern. AXCELIS G03 bietet auch erweiterte Kammergeometrie, um hohe Seitenverhältnisse zu erreichen. Es bietet auch einen einzigartigen rotierenden Waferhalter, um ein sehr gleichmäßiges Ätzen und eine gleichmäßige Heizoption zu gewährleisten, um einheitliche thermische Bedingungen zu erhalten. Darüber hinaus verfügt das Softwarepaket dieser Geräte über verschiedene Module für Prozesssteuerungen, Batch-Sequenzmanagement, Rezeptmanagement usw. G03 verfügt über eine Reihe von Merkmalen, die es zu einer idealen Wahl für die Herstellung verschiedener Halbleiterbauelemente machen. Dieses System ist mit den gängigsten Photoresists kompatibel und verfügt über eine großzügige Gasströmungsfähigkeit mit mehreren Gasdosierkonfigurationen, um eine genaue Einstellung des Ätzprozesses zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet das Gerät viele Sicherheitsfunktionen, darunter eine sichere Türverriegelungsmaschine und mehrere Sicherheitssensoren, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. AXCELIS/FUSION G03 ist ein zuverlässiges und effizientes Ätz-/Ascherwerkzeug, das für hervorragende Produktivität und hervorragende Ergebnisse sorgt. Seine erweiterten Steuerungskomponenten, die Kammergeometrie und der einzigartige rotierende Waferhalter machen ihn zu einer guten Wahl für jede Halbleiterproduktionsumgebung.