Gebraucht AXCELIS / FUSION G03 #9261537 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION G03 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für die Hochdurchsatzproduktion in der Chipherstellung. Dieses System wurde mit einer robusten Roboterhandhabungseinheit entwickelt, die eine Vielzahl von Prozessen ausführen kann, vom Tiefätzen von Polysilizium bis zum flachen Ätzen von Nitridschichten. Die Maschine hat eine Mehrkammerkonfiguration, die es ermöglicht, mehrere Ätzprozesse in einer einzigen Reihenfolge durchzuführen, mit einer Zykluszeit von 30er bis 4 Minuten, je nach Rezept. Der Kern von FUSION G03 ist seine Advanced Mode Synchronized Etch (AMS-E) Architektur, die fortschrittliche computergesteuerte Ätzkammern verwendet, die einen intelligenten 32-Bit-Controller verwenden, der Software zum Optimieren von Ätzprofilen ausführt. Es verfügt über mehrere Plasmaquellen mit unabhängiger Steuerung der HF-Frequenz jeder Kammer, Plasmagaschemie und Druck - was optimierte Ätzbedingungen für eine Vielzahl von Materialien ermöglicht. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Reihe von Rezeptüberwachung, Wafer-Tracking und Kammerreinigung Systeme, die sowohl Prozessgleichförmigkeit und Produktionsqualität zu gewährleisten konzipiert. Insbesondere überwacht das eingebaute APC-Asset (Automated Process Control) den Echtzeitprozess mit automatisierter Prozessabstimmung auf Waferebene, um die Rezeptgenauigkeit zu verbessern und den Bedarf an manueller Abstimmung von Rezepten während der Produktion zu reduzieren. Das Modell verfügt auch über eine integrierte Vision-Ausrüstung mit einer hochauflösenden Kamera, die einen Wafer nach dem Ätzen vollständig abbilden kann und sowohl die Prozessvalidierung auf Waferebene als auch die Fehlersuchfunktion ermöglicht. Seine Inspektionsmöglichkeiten werden durch einen TeraScan- WFS190 weiter verbessert, der über mehrere Sonden Partikelwerte im System durch Überwachung des eingehenden Wafers erfassen kann. Insgesamt ist AXCELIS G03 mit einer Vielzahl branchenführender Funktionen und Technologien ausgestattet, um eine effiziente, zuverlässige und ertragsstarke Produktion von Chips zu gewährleisten. Es bietet schnelle Ätzraten, überlegene Rezeptgenauigkeit, Prozessgleichmäßigkeit, Prozessoptimierung und Analyse auf Waferebene, sodass Chiphersteller die Kosteneffizienz maximieren und ihren Wettbewerbsvorteil verbessern können.