Gebraucht AXCELIS / FUSION G03 #9261541 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION G03 ist eine Hochleistungs-elektrochemische Ätz-/Plasmaascherei, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Sie ist für die Herstellung von Wafer- und Düsengeräten in der Halbleiterindustrie ausgelegt. FUSION G03 bietet die ultimative Präzision und Kontrolle, die zum Ätzen von hochdichten, hochpräzisen und leistungsstarken Merkmalen auf Halbleiteroberflächen erforderlich ist. AXCELIS G03 ist ein hochflexibles System mit mehreren Vorteilen in Bezug auf Kosten, Flexibilität, Kompatibilität und Produktivität für viele verschiedene Halbleiterprozesse. Es ist für mehrschichtige Fotolackmaskierung und Strukturierung mit Optionen für eine schnelle Ausrüstung von negativen und positiven Fotolackfilmen konzipiert. G03 hat variable Leistungseinstellungen eingebaut, die präzise Ätztiefen ermöglichen und für unterschiedliche Widerstände angepasst werden können, während die HF-Vorspannungsleistung ein vollständiges Ätzen aller Arten von Materialien von niedrigem bis zu hohem Widerstand gewährleistet. AXCELIS/FUSION G03 wurde entwickelt, um gleichmäßige, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse in hohen Erträgen und mit ausgezeichnetem Durchsatz zu erzielen. Sein Betrieb wird durch eine leistungsstarke Steuereinheit gesteuert und sein Ätzprozess kann für verschiedene Wafer- und Düsengrößen eingestellt werden. FUSION G03 ist mit einem elektronisch abstimmbaren Oszillator für Präzisionsätzen, einer Vielzahl von internen und externen Gasverteilungssystemen für verbesserte Steuerbarkeit und einer ausgeklügelten Benutzeroberfläche für einfache Bedienung und Überwachung ausgestattet. Es bietet auch eine Vielzahl von präzisen Ätzkonfigurationen, einschließlich Mehrschichtätzen und Mehrfachmaskenstrategien. AXCELIS G03 verfügt über eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen wie automatische Abschaltung, Notstoppschalter, Zwangsbelüftung und andere Funktionen zum Schutz von Betreibern vor potenziellen Gefahren. Es umfasst auch einen vorkonfigurierten DMA-Scheduler und eine eingebaute Alarmmaschine für effiziente Ätzvorgänge. Insgesamt ist G03 ein zuverlässiges und zuverlässiges Ätz-/Plasmaveraschungswerkzeug, das Präzisionsätzen mit schnellen Bearbeitungszeiten und ausgezeichneter Produktivität gewährleistet. Es wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Ätzprofile für eine Vielzahl von Substraten zu erhalten und erfüllt alle Anforderungen der Halbleiterindustrie.
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